Статья: Влияние процессов отжига на время жизни носителей заряда и его однородность в пластинах кремния n-типа

Скачать

Показано, что предварительная термическая обработка в кислороде и азоте при 1150 С в течение нескольких часов значительно снижает неравномерность в распределении времени жизни неосновных носителей заряда в кремнии, выращенном методом Чохральского, при последующих диффузионных процессах. Полученный результат объясняется образованием при отжиге приповехностной зоны с пониженной концентрацией кислорода, в которой подавляется рост кислородных преципитатов.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Вильдяева Мария
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2022-3-43-48
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2022
Автор(ы): Вильдяева М. Н., Климанов Е. А., Макарова Э. А., Скребнева П. С.
Ключевые фразы: время жизни неосновных носителей заряда, кислородные преципитаты, диффузия бора и фосфора
Каталог SCI: Физика
УДК: 621.315.592. Полупроводники

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: ДЕТЕРМИНАНТЫ НАСИЛЬСТВЕННЫХ ПРЕСТУПЛЕНИЙ, СОВЕРШАЕМЫХ НА СЕКСУАЛЬНОЙ ПОЧВЕ, В СОВРЕМЕННОЙ РОССИИ

02. Статья: МОДЕЛИРОВАНИЕ СВЯЗАННЫХ МЕМРИСТОРНЫХ ОСЦИЛЛЯТОРОВ С ПРИМЕНЕНИЕМ СХЕМНЫХ СИМУЛЯТОРОВ

03. Статья: ОБЪЕКТИВНАЯ ОЦЕНКА ДОСТИГАЕМЫХ ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ: ОСОБЕННОСТИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ И ПРИМЕНЕНИЯ ОЦЕНОЧНЫХ СРЕДСТВ В СОВРЕМЕННЫХ УСЛОВИЯХ ЦИФРОВОГО РАЗВИТИЯ

04. Статья: Технология разработки тонких рудных тел с предварительной лазерной дезинтеграцией прочных горных пород

05. Статья: Список клопов национального парка «Бузулукский бор» (Оренбургская область)

06. Статья: ВАЛИДНОСТЬ ТЕСТОВЫХ ЗАДАНИЙ "ГАОКАО" НА ПОНИМАНИЕ РУССКОЯЗЫЧНОГО ТЕКСТА

07. Статья: ДЕФИЦИТ ВИТАМИНА D КАК ФАКТОР РАЗВИТИЯ НЕБЛАГОПРИЯТНЫХ ИСХОДОВ БЕРЕМЕННОСТИ

08. Статья: Особенности клеточного иммунитета у больных рассеянным склерозом, прервавших терапию ингибитором интегрина

09. Статья: КРИСТАЛЛОГЕОМЕТРИЯ ЗАПОЛНЕНИЯ КООРДИНАЦИОННЫХ СФЕР В НАНОЧАСТИЦАХ СПЛАВОВ СОСТАВА АВ ФОРМИРУЮЩИХ СВЕРХСТРУКТУРУ В32

10. Статья: Особенности функционирования генератора случайных чисел с транзисторным источником шума в различных температурных условиях

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.