Методом спада фотопроводимости -PCD в образцах кремниевых пластин n-типа, выращенных методом Чохральского, обнаружены кольцевые неоднородности в распределении времени жизни неосновных носителей заряда, отсутствующие или слабо выраженные в кремнии р-типа. Средняя величина указанных неоднородностей возрастает при проведении термических операций при изготовлении фотодиодов. Обнаруженные кольцевые неоднородности в распределении времени жизни коррелируют с неоднородностями в распределении фото- и темнового тока фотодиодов, изготовленных на исследованных пластинах.
The microwave-detected photoconductance decay (μ-PCD) was used to monitor the ring distribution minority carrier lifetime in the n-type Czochralski (Cz) silicon substrates. This ring patterns are not observed in p-type silicon. The increase in ring-like patterns size after high temperature treatments for the photodiodes realization was observed. Strong correlation was observed between distributions carrier lifetime, photo- and dark currents in investigated wafers.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 29423998