Статья: Влияние кольцевой неоднородности распределения времени жизни носителей заряда в кремниевых пластинах на параметры фотодиодов (2017)

Читать онлайн

Методом спада фотопроводимости -PCD в образцах кремниевых пластин n-типа, выращенных методом Чохральского, обнаружены кольцевые неоднородности в распределении времени жизни неосновных носителей заряда, отсутствующие или слабо выраженные в кремнии р-типа. Средняя величина указанных неоднородностей возрастает при проведении термических операций при изготовлении фотодиодов. Обнаруженные кольцевые неоднородности в распределении времени жизни коррелируют с неоднородностями в распределении фото- и темнового тока фотодиодов, изготовленных на исследованных пластинах.

The microwave-detected photoconductance decay (μ-PCD) was used to monitor the ring distribution minority carrier lifetime in the n-type Czochralski (Cz) silicon substrates. This ring patterns are not observed in p-type silicon. The increase in ring-like patterns size after high temperature treatments for the photodiodes realization was observed. Strong correlation was observed between distributions carrier lifetime, photo- and dark currents in investigated wafers.

Ключевые фразы: кремниевые фотодиоды, неоднородность времени жизни, темновой ток, чувствительность
Автор (ы): Вильдяева Мария Николаевна, Демидов Станислав Стефанович, Климанов Евгений Алексеевич, Ляликов Алексей Владимирович, Фокина Алёна Сергеевна
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
eLIBRARY ID
29423998
Для цитирования:
ВИЛЬДЯЕВА М. Н., ДЕМИДОВ С. С., КЛИМАНОВ Е. А., ЛЯЛИКОВ А. В., ФОКИНА А. С. ВЛИЯНИЕ КОЛЬЦЕВОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ НА ПАРАМЕТРЫ ФОТОДИОДОВ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2017. ТОМ 5, №3
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (1)