Архив статей

Влияние кольцевой неоднородности распределения времени жизни носителей заряда в кремниевых пластинах на параметры фотодиодов (2017)
Выпуск: Том 5, №3 (2017)
Авторы: Вильдяева Мария Николаевна, Демидов Станислав Стефанович, Климанов Евгений Алексеевич, Ляликов Алексей Владимирович, Фокина Алёна Сергеевна

Методом спада фотопроводимости -PCD в образцах кремниевых пластин n-типа, выращенных методом Чохральского, обнаружены кольцевые неоднородности в распределении времени жизни неосновных носителей заряда, отсутствующие или слабо выраженные в кремнии р-типа. Средняя величина указанных неоднородностей возрастает при проведении термических операций при изготовлении фотодиодов. Обнаруженные кольцевые неоднородности в распределении времени жизни коррелируют с неоднородностями в распределении фото- и темнового тока фотодиодов, изготовленных на исследованных пластинах.

Сохранить в закладках
Влияние кислородных преципитатов на темновой ток кремниевых фотодиодов (2023)
Выпуск: Том 11, № 6 (2023)
Авторы: Вильдяева Мария Николаевна, Демидов Станислав Стефанович, Демидова Юлия Станиславовна, Климанов Евгений Алексеевич, Хлызова Ульяна Дмитриевна, Скребнева Полина Станиславовна

Проведено сравнение распределений темновых токов, времени жизни неосновных носителей заряда и микродефектов, выявляемых селективным травлением. Показано, что основной причиной повышенных темновых токов и пониженной фото-чувствительности в кремниевых фотодиодах, изготовленных на кремнии n-типа, изготовленным методом Чохральского, являются генерационно-рекомбинационные процессы на мелких окисных преципитатах.

Сохранить в закладках