Статья: Анализ разориентации монокристаллических блоков объемного кристалла InSb (2017)

Читать онлайн

Разработана модель расчета угла разориентации отражающих кристаллографических плоскостей и поверхности полупроводникового образца средствами рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения. Модель позволяет минимизировать механические аппаратные погрешности, в том числе неточности позиционирования и перемещения, и определить оптимальные параметры расположения образца относительно падающего излучения для корректного проведения исследований совершенства кристаллической структуры. Описан принцип проведения эксперимента и математическая модель для обработки полученных результатов. Для определения наличия макродефектов в кристаллической структуре, в частности, блоков, проводилось построение карты распределения параметров кривых качания по всему образцу (картирование) с использованием разработанной модели. Это позволило определить границы блоков и их взаимную ориентацию в продольных относительно пластины направлениях. Модель опробовалась на пластине объемного монокристалла антимонида индия, выращенного методом Чохральского, при этом подготовленной методами химикодинамического и химико-механического полирования.

A model has been created to determine a mismatching angle between reflecting crystallographic planes and the surface of a semiconductor by means of the high-resolution X-ray diffractometry. The model allows minimizing the mechanical hardware mistakes including the positioning and moving mistakes and determining the optimal parameters to place a sample relatively to the grazing radiation to be able to study the quality of crystal structure correctly. It has been shown how to hold an experiment, and a mathematical model has been suggested for processing the achieved results. To find macrodefects in crystal structure including blocks, a mapping of rocking curves parameters has been held using the created model. This has let to definite the boundaries of blocks and their relative orientation in the lateral direction. The results of using the created model have been shown for a sample of bulk crystal InSb grown by the Czochralski method and prepared by means of dynamical and chemical mechanical polishing.

Ключевые фразы: рентгеновская дифрактометрия, монокристалл, антимонид индия, InSb, блочность, разориентация
Автор (ы): Шабрин Алексей Дмитриевич, Гончаров Андрей Евгеньевич, Пашкеев Дмитрий Александрович, Ляликов Алексей Владимирович, Егоров Александр Васильевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
620.186.84. Установление границ зерен
eLIBRARY ID
29426684
Для цитирования:
ШАБРИН А. Д., ГОНЧАРОВ А. Е., ПАШКЕЕВ Д. А., ЛЯЛИКОВ А. В., ЕГОРОВ А. В. АНАЛИЗ РАЗОРИЕНТАЦИИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ БЛОКОВ ОБЪЕМНОГО КРИСТАЛЛА INSB // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №3
Текстовый фрагмент статьи