Статья: Влияние внешнего магнитного поля на радиальное распределение ионного тока насыщения зонда в высокочастотном индуктивном источнике плазмы (2017)

Читать онлайн

В работе представлены результаты измерений радиального распределения ионного зондового тока насыщения в высокочастотном индуктивном источнике плазмы диаметром 46 см при изменении величины индукции внешнего магнитного поля В от 0 до 50 Гс, выполненные на рабочих частотах 2, 4 и 13,56 МГц и фиксированной мощности ВЧ-генератора в диапазоне 100– 500 Вт. В качестве рабочего газа использовался аргон, давление которого изменялось от 0,1 до 30 мТорр. Показано, что наложение внешнего магнитного поля позволяет управлять радиальным распределением зондового ионного тока насыщения. Выявлены оптимальные условия создания протяженных участков однородной плазмы диаметром более 30 см.

The measured dependencies of the probe ion saturation current radial distribution on external magnetic field value in the range 0–50 Gs in a radio-frequency inductive plasma source with a diameter of 46 cm are presented in the work. The measurements were carried out at operating frequencies of 2, 4 and 13.56 MHz at fixed power of the radio-frequency power source. RF power source’s power was varied in a range of 100–500 W. The working gas was argon in the pressure range 0,1–30 mTorr. It is shown that the variation of an external magnetic field makes it possible to control the radial distribution of the probe ion saturation current. The optimal conditions for creating extended sections of a homogeneous plasma with a diameter of more than 30 cm are revealed.

Ключевые фразы: индуктивный, емкостной, высокочастотный, разряд, плазма, ионный ток насыщения, индукция внешнего магнитного поля
Автор (ы): Неклюдова Полина Алексеевна, Кралькина Елена Александровна, Вавилин Константин Викторович, Задириев Илья Игоревич, Никонов Александр Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525.99. Прочие виды разрядов в газах при пониженном давлении
eLIBRARY ID
29426674
Для цитирования:
НЕКЛЮДОВА П. А., КРАЛЬКИНА Е. А., ВАВИЛИН К. В., ЗАДИРИЕВ И. И., НИКОНОВ А. М. ВЛИЯНИЕ ВНЕШНЕГО МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА РАДИАЛЬНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ИОННОГО ТОКА НАСЫЩЕНИЯ ЗОНДА В ВЫСОКОЧАСТОТНОМ ИНДУКТИВНОМ ИСТОЧНИКЕ ПЛАЗМЫ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №3
Текстовый фрагмент статьи