Статья: Влияние структурного совершенства пленок оксида цинка на их электрические и оптические свойства (2017)

Читать онлайн

Получены тонкие пленки ZnO на подложках (0001) Al2O3 с террасно-ступенчатой наноструктурой поверхности после термохимической нитридизации и с буферными слоями золота. Исследованы их электрические и фотолюминесцентные свойства. Наибольшую подвижность и удельное сопротивление имеют пленки ZnO, полученные на AlN/(0001) Al2O3, которые обладали высоким структурным совершенством. Применение Au в качестве буферных слоев также приводит к повышению структурного совершенства эпитаксиальных пленок ZnO. Однако при этом наблюдается значительное снижение подвижности, связанное с рассеянием на атомах золота, внедренных в решетку ZnO, и уменьшение концентрации носителей.

The ZnO thin films were obtained on (0001)Al2O3 substrate with terrace-steps nanostructure surface after thermochemical nitridization and with buffer gold lays. Their electrical and photoluminescent properties were researched. The ZnO films which had high structure perfection obtained on AlN/(0001)Al2O3 has the biggest mobility and specific resistivity. Applying Au as the buffer layers also leads to higher structural perfection of the ZnO epitaxial films. However, there is a significant decrease in mobility due to scattering on gold atoms introduced into the lattice of ZnO and decrease of the carrier’s concentration.

Ключевые фразы: оксид цинка, магнетронное распыление, люминесценция, террасно-ступенчатые наноструктуры
Автор (ы): Муслимов Арсен Эмирбегович, Рабаданов Муртазали Хулатаевич, Исмаилов Абубакр (Абакар) Магомедович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.016. Оптические явления, зависящие от свойств поверхностей раздела
539.231. механическим путем, например напылением
eLIBRARY ID
29426679
Для цитирования:
МУСЛИМОВ А. Э., РАБАДАНОВ М. Х., ИСМАИЛОВ А. (. ВЛИЯНИЕ СТРУКТУРНОГО СОВЕРШЕНСТВА ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА НА ИХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №3
Текстовый фрагмент статьи