Статья: Тестовые структуры для исследования зависимости фотоэлектрических характеристик крупноформатных МФПУ от топологии элементов на основе InSb (2025)

Читать онлайн

С целью получения и сравнения основных фотоэлектрических характеристик МФПУ в пределах одной крупноформатной матрицы, разработаны топологии тестовых матричных структур на основе InSb с квадратной и круглой формами фоточувствительной области, шагом элементов 10, 12, 15 и 20 мкм, предназначенных для гибридизации с БИС считывания формата 12801024 и шагом 12 мкм. Представлена структура комплекта фотошаблонов с матричными тестовыми элементами для реализации клиновидного утоньшения с целью получения сверхтонких структур с контролируемой толщиной для повышения прочности и минимизации взаимосвязи. Проанализированы возможности реализации предложенных тестовых структур.

The topology of squares mesa and rounded mesa of testing array patterns with 10, 12, 15 and 20 m pitch based on InSb intended for hybridization with 12 m pitch 12801024 ROIC for research of basic photo-electric characteristics in single FPA large-format are developed. The structure of a complete set of photomasks with distribution over the area of testing array patterns for realization wedge-like thinning is presented in order to obtain ultra-thin structures with a controlled thickness over the area with to increase strength and minimize the crosstalk. Possibilities of realization of the offered testing array patterns are analysed.

Ключевые фразы: матричные фотоприемные устройства (мфпу), матрица фоточувстви- тельных элементов (мфчэ), антимонид индия, взаимосвязь, сканирующая маска, тополо- гия, тестовая матричная структура
Автор (ы): Лопухин Алексей Алексеевич, Пермикина Елена Вячеславовна, Лопатин Вадим Владимирович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
53. Физика
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2025-5-25-32
Для цитирования:
ЛОПУХИН А. А., ПЕРМИКИНА Е. В., ЛОПАТИН В. В. ТЕСТОВЫЕ СТРУКТУРЫ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ЗАВИСИМОСТИ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК КРУПНОФОРМАТНЫХ МФПУ ОТ ТОПОЛОГИИ ЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ INSB // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2025. №5
Текстовый фрагмент статьи