Статья: Измерение масштабов неоднородности размещения дислокационных ямок травления на цифровых изображениях монокристаллов GaAs (2025)

Читать онлайн

Однородность свойств полупроводниковых монокристаллов является одним из главных трендом развития отросли в последнее время. Однако на данный момент не существует единого представления о мере неоднородности свойств и методах ее оценки. Предложен метод анализа неоднородности размещения дислокационных ямок травления на основе решения задачи о близости объектов бинарного изображения разбиением пространства на полиэдры Вороного. Фильтрацию объектов по размерам проводили с учетом известной природы объектов измерения. На основе гистограммы распределения площадей темных объектов был рассчитан «статистический» порог фильтрации, величина которого составила 585 мкм2. Уточнение природы шумов на изображении проводилось на основе прямого наблюдения ямок травления методами сканирующей электронной микроскопии, что позволило оценить величину «физиче-ского» порога фильтрации – 16 мкм2. Установлено, что группам темных объектов, выделяемых «статистической» и «физической» фильтрацией, в координатах «площадь объекта S – его периметр P» отвечали различные значения тангенсов углов наклона аппроксимирующих кривых: 0,33 и 0,85 соответственно. Показано, что для получения объективных результатов при цифровой обработке изображений необходимо накопление представительной статистики измерений. Так, для исследуемого в работе панорамного изображения ямок травления в GaAs размер площади измерений должен быть не менее 0,42 мм2.

The homogeneity of the properties of semiconductor single crystals has been a key trend in the industry’s recent development. However, there is currently no consensus on the degree of property heterogeneity or methods for its assessment. A method for analyzing the heteroge-neity of dislocation etch pit distributions is proposed. This method is based on solving the problem of the proximity of binary image objects by partitioning the space into Voronoi poly-hedra. Object size filtering was performed taking into account the known nature of the meas-ured objects. A statistical filtering threshold of 585 μm2 was calculated using a histogram of the distribu-tion of dark object areas. The nature of image noise was clarified through direct observation of etch pits using scanning electron microscopy, which allowed us to estimate the physical fil-tering threshold at 16 μm. It was found that groups of dark objects identified by “statistical” and “physical” filtering, in the “object area S – its perimeter P” coordinates, corresponded to different slope values of the approximating curves: 0.33 and 0.85, respectively. It was shown that, to obtain objective results in digital image processing, it is necessary to accumulate rep-resentative measurement statistics – the size of the measurement area when studying the dis-location structure of GaAs should be at least 0.42 mm2.

Ключевые фразы: метод Чохральского, aiiibv, GaAs, ПЛОТНОСТЬ ДИСЛОКАЦИЙ, СВЕТОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, цифро-вая обработка изображения, полиэдры вороного
Автор (ы): Комаровский Никита Юрьевич, Князев Станислав, Кудря Александр, Суханова Анна Сергеевна, Антонова Валерия Евгеньевна , Молодцова Елена Владимировна, Соколовская Элина
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2025-5-85-93
Для цитирования:
КОМАРОВСКИЙ Н. Ю., КНЯЗЕВ С., КУДРЯ А., СУХАНОВА А. С., АНТОНОВА В. Е., МОЛОДЦОВА Е. В., СОКОЛОВСКАЯ Э. ИЗМЕРЕНИЕ МАСШТАБОВ НЕОДНОРОДНОСТИ РАЗМЕЩЕНИЯ ДИСЛОКАЦИОННЫХ ЯМОК ТРАВЛЕНИЯ НА ЦИФРОВЫХ ИЗОБРАЖЕНИЯХ МОНОКРИСТАЛЛОВ GAAS // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2025. №5
Текстовый фрагмент статьи