Оптимизирована толщина матричных фотоприемных устройств средневолнового диапазона формата 640512 элементов с шагом 15 мкм на основе антимонида индия. Измерены интегральные распределения толщины и разброса толщины по площади матричного фоточувствительного элемента. Определена оптимальная толщина из сравнения зависимостей интегральных распределений толщины объемной структуры утоньшенного антимонида индия с оценкой видимости миры в МФПУ.
Photosensitive layer thickness in 640512 midwave range InSb FPA with pitch
15 m is optimized. The integral distributions of thickness and deviation of thickness along the FPA area for previous and improved technology are measured. Optimal InSb bulk structure thickness in FPA from the estimation of visibility test pattern is determined.