Архив статей

Оптимизация толщины фоточувствительного слоя матричного фотоприемного устройства на основе антимонида индия (2020)
Выпуск: Том 8, № 5 (2020)
Авторы: Лопухин А. А., Болтарь К., Власов П. В., Ерошенко Г. Н., Ларионов Н. А.

Оптимизирована толщина матричных фотоприемных устройств средневолнового диапазона формата 640512 элементов с шагом 15 мкм на основе антимонида индия. Измерены интегральные распределения толщины и разброса толщины по площади матричного фоточувствительного элемента. Определена оптимальная толщина из сравнения зависимостей интегральных распределений толщины объемной структуры утоньшенного антимонида индия с оценкой видимости миры в МФПУ.

Сохранить в закладках