Полирование с помощью представленных на апробацию алмазных суспензий не нарушает геометрию образца, заданную на операциях шлифования. Суспензия поликристаллического алмаза DPM 0-1 на операции полирования успешно поддерживает заданную геометрию образца и в этом аналогична суспензии Diamond Suspension Polytopduo 1 мкм, производства компании MetCata.
Вместе с тем отмечается увеличенная почти в 2 раза скорость съёма материала на суспензии поликристаллического алмаза DPM 0-1 в сравнении с суспензией Diamond Suspension Poly-top-duo 1 мкм, производства компании MetCata при неизменных остальных условиях. Вероятно, это вызвано повышенной концентрацией поликристаллического алмаза в представленной на апробацию суспензии по сравнению с суспензией производства компании MetCata.
Результаты измерений шероховатости поверхности образца при помощи контактного профилометра после полирования № 1 (суспензия Diamond Suspension Poly-top-duo 1 мкм) и после полирования № 2 (суспензия поликристаллического алмаза DPM 0-1) практически одинаковы. Отмечается улучшение шероховатости поверхности образца на 7 %.
Таким образом, по своим рабочим характеристикам полировальная суспензия поликристаллического алмаза DPM 0-1 идентична используемой в производстве АО «НПО «Орион» суспензии Diamond Suspension Poly-top-duo 1 мкм, производства компании MetCata, что подтверждено измерениями шероховатости, а также оценкой плоскостности и геометрии поверхности образца КЦТ.
Полирование № 3 с помощью суспензии поликристаллического алмаза DPM 0,1-0,5 также не нарушает исходную геометрию образца.
При исследовании под микроскопом выявлена картина характерная для полировальной суспензии с субмикронным абразивом – множественные хаотичные царапины, по ширине находящиеся в допустимых пределах для данного размера зерна абразива.
Измерения шероховатости на механически очищенном участке образца КЦТ после полирования № 3 показывают стабильные значения для полировальной суспензии с субмикронным абразивом. Рельеф практически без перепадов, однородный. Достигнутые значения шероховатости удовлетворительные, а перепады высот несколько нивелируются при последующей операции финишного полирования с помощью полирующего химического травителя.
Значения шероховатости, измеренные при помощи атомно-силового микроскопа, контактного профилометра и оптического профилометра на различных длинах, довольно близки для различных типов измерительных приборов, незначительные отклонения вызваны особенностями измерительного оборудования.
Сравнение полученных с помощью атомно-силового микроскопа изображений поверхности образца КЦТ кристаллографической ориентации (111), полированной при помощи представленной на апробацию суспензии поликристаллического алмаза DPM 0,1-0,5, с аналогичным образцом того же материала, полированного ранее при помощи суспензии Chemlox Logitech, в которой в качестве полирующего абразива выступает субмикронный Al2O3, а также сравнение значений шероховатости поверхностей этих полированных
образцов позволяет сделать вывод, что представленная на апробацию суспензия поликристаллического алмаза DPM 0,1-0,5 в части получения качества полированной поверхности не уступает импортному аналогу, выпускаемому производителем установки шлифования и полирования Logitech.