Высокоточный метод аттестации параметров формы крупногабаритных полированных плоских оптических изделий на основе расчёта и анализа спектральной плотности корреляционной функции (2022)

В работе рассматривается возможность описания средне- и мелкоструктурных неоднородностей профилей поверхностей крупногабаритных оптических изделий, используя двумерную спектральную плотность корреляционной функции (СПКФ). Предложен метод измерения амплитудных значений пространственных неоднородностей в широком спектральном диапазоне, на основе теоремы Парсеваля и Винера-Хинчина, используя алгоритм приведения двумерной функции СПКФ к одномерному виду. Данный метод позволяет сравнивать измеренную функцию СПКФ с теоретически рассчитанной и указанной в техническом задании на изготовление оптической детали, а также выдвигать требования на аппаратуру контроля. В статье представлено математическое описание метода приведения двумерной функции СПКФ к одномерному виду функции и предложен алгоритм программного обеспечения, разработанного для реализации данного метода приведения функции СПКФ, и его апробация как на математических моделях поверхностей, так и на результатах экспериментальных измерений.

The paper considers the possibility of describing medium- and fine-structured inhomogeneities of the surface profiles of large-sized optical products using the two-dimensional spectral density of the correlation function (SPCF). A method for measuring the amplitude values of spatial inhomogenei-ties in a wide spectral range is proposed, based on the Parseval and Wiener-Khinchin theorem, us-ing the algorithm of reducing the two-dimensional SPCF function to a one-dimensional form. This method makes it possible to compare the measured SPCF function with the theoretically calculated one and specified in the technical specification for the manufacture of an optical part, as well as to put forward requirements for control equipment. The article presents a mathematical description of the method of reducing a two-dimensional SPKF function to a one-dimensional form of the function and proposes an algorithm of software developed for the implementation of this method of reducing the SPKF function, and its approbation both on mathematical models of surfaces and on the results of experimental measurements.

Тип: Статья
Автор (ы): Денисов Дмитрий Геннадьевич
Соавтор (ы): Патрикеева Анастасия Андреевна, Морозов Алексей Борисович

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.42. Дифракция
681.7.02. Процессы получения и обработки оптических деталей
Префикс DOI
10.51368/2307-4469-2022-10-4-411-418
eLIBRARY ID
49432935
Текстовый фрагмент статьи