Средневолновая ИК-пирометрия с использованием фотодиодов на основе InAs и InAsSb (обзор) (2022)
Представлен обзор современного состояния мирового рынка пирометров промышленного назначения. Приводятся технические характеристики макетов специализированных пирометров, разработанных в лабораториях ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН и реализованных на отечественной элементной базе фотоприемников.
Предложена конструкция универсального пирометрического сенсора на основе неохлаждаемых одно и двухспектральных фотодиодных сэндвич-структур с максимумами спектральной чувствительности в средневолновый (MWIR) области спектра.
Отработаны алгоритмы градуировки и калибровки пирометров на исследуемый объект, что позволяет минимизировать методические составляющие погрешности при измерении истинной температуры объекта с неизвестными/изменяющимися значениями излучательной способности.
Показано, что пирометры на основе неохлаждаемых иммерсионных InAs и InAsSb фотодиодов по совокупности параметров быстродействие, точность, чувствительность и диапазон измерения температуры соответствуют лучшим образцам ИК-радиационных термометров, представленных на мировом рынке.
An overview of the current state of the world market for industrialpyrometers is presented.
The technical characteristics of specialized pyrometers prototypes implemented on the domestic photo-detectors components and developed in the laboratories of the Ioffe Institute (St. Peters-burg, Russia) are given.
A design of a universal pyrometric sensor based on uncooled one- and two-color photodiode sandwich structures with spectral sensitivity maxima in the mid-IR wavelength (MWIR) spectrum range is proposed.
Pyrometers calibration algorithm on the object under study have been worked out, which makes it possible to minimize the error components when measuring the true temperature of an object with unknown / changing values of emissivity.
It is shown that pyrometers based on domestic uncooled immersion InAs and InAsSb photodi-odes, in terms of the combination of parameters, speed, accuracy, sensitivity, and temperature measurement range, correspond to the best examples of IR radiation thermometers on the world market.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- УДК
- 536.52. Пирометрические методы
53.08. Общие основы и теория измерений. Конструкции и детали измерительных приборов. Методы измерения. Наблюдение и регистрация результатов измерения - Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2022-10-4-389-403
- eLIBRARY ID
- 49432933
Отечественная элементная база MWIR фотодиодов позволяет не только разрабатывать пирометры, отвечающие требованиям промышленности, но и создавать новые оригинальные измерительные методики.
Высокая чувствительность и относительная узкополосность рассмотренных фотодиодов позволяет реализовать на их основе профессиональные двуцветные пирометры для диапазона температур 50–1000 оC, обладающие точностью не хуже 1 % от шкалы при малых полях зрения (коэффициент визирования 1:100), с быстродействием от единиц мс до 1 c.
Экспериментально подтверждена квазимонохроматическая модель для описания передаточной характеристики пирометрического сенсора на основе иммерсионных MWIR фотодиодов. Это позволяет реализовать методы градуировки и автокалибровки температурного сенсора в лабораторных условиях на произвольный объект, что существенно уменьшает методическую составляющую погрешности пирометрических измерений.
Впервые представлен двухволновой пирометр MWIR диапазона с временным разрешением 1 с и диапазоном измерения температуры от 200 до 3500 оС, предназначенный для контроля температуры материалов непосредственно во время воздействия плазменного разряда. По совокупности параметров такой пирометр превосходит известные двухспектральные аналоги.
С помощью разработанных и реализованных макетов пирометров на основе InAs InAsSb фотодиодов впервые в практике научных исследований проведены измерения динамики изменения температуры с высоким быстродействием и точностью для объектов с неизвестными и/или изменяющимися в процессе эксперимента значениями излучательной способности:
• в исследованиях электрокалорических и пироэлектрических свойств сегнетоэлектрических керамик;
• при отработке «ink-jet» технологии для печатной электроники;
• при исследовании теплофизических свойств конструкционных материалов в экспериментальной термоядерной установке Глобус-М.
Список литературы
- Highly Accurate Infrared Thermometers for Non-contact Temperature Measurements (PYROMETER OVERVIEW)| Ad-vanced Energy/ https://www.advancedenergy.com
- Криксунов Л. З. Справочник по основам инфракрасной техники. – М.: Сов. радио, 1978.
- Pyrometer Market – Global Industry Analysis, Size, Share, Growth, Trends and Forecast 2017–2025 https://www.transparencymarketresearch.com/pyrometer-market.html
- FLUKE: Flukeprocessinstruments.com
- Свет Д. Я. Оптические методы измерения истинных температур. – М.: Наука, 1982.
- Saunders Р. // Meas. Sci. Technol. 2009. Vol. 20. P. 025104.
- Новицкий П. В. Электрические измерения неэлектрических величин. – Л.: Энергия, 1975.
- Manoi A., Wongnut. P., Lu X., Bloembergen P., Saunders P. // Metrologia. 2020. Vol. 57(1). P. 014002.
- Saunders1 P., Manoi A. // Metrologia. 2020. Vol. 57(2). P. 014002.
- Liang M., Wang Y., Wang C., Wang Y. // Measurement Science and Technology. 2022. Vol. 33(6). P. 065004.
- Sotnikova G. Yu., Aleksandrov S. E., Gavrilov G. A., Za-brodskiy V. V., Suchanov V. L. // Proc. SPIE. 2011. Vol. 8073. P. 80731D.
- Сотникова Г. Ю., Гаврилов Г. А., Суханов В. Л., Черных Д. Ф., Александров С. Е., Капралов А. А., Алексе-ев А. Н., Шкурко А. П. // ПТЭ. 2007. № 4. С. 151.
- Selection guide/Infrared detectors https://www.hamamatsu.com/
- Infrared Detector Market Research Report: ID: MRFR/ICT/9311-HCR | March 2022 | [: https://www.marketresearchfuture.com/
- ООО «ИоффеЛЕД», www.ioffeled.com/
- Mid-IR Photodetectors and Systems: Applications & Markets https://www.marketsandmarkets.com/
- Bielecki Z., Achtenberg K., Kopytko M., Mikolajczyk J., Wojtas J., Rogalski A. // Bull. Pol. Acad. Sci. Tech. Sci. 2022. Vol. 70( 2). P. 140534.
- Chen J., Wang J., Li X., Chen Jin, Yu F., He J., Wang J., Zhao Z., Li G., Chen X., Lu Wei // Sensors. 2022. Vol. 22. P. 677.
- Гаврилов Г. А., Матвеев Б. А., Сотникова Г. Ю. // Письма ЖТФ. 2011. Т. 37. № 18. С. 50.
- Александров С. Е., Гаврилов Г. А., Сотникова Г. Ю. // Письма ЖТФ. 2014. Т. 40. № 16. С. 58.
- Sotnikova G. Yu., Aleksandrov S. E., Gavrilov G. A. // Proc. of SPIE Optical Sensors. 2011. Vol. 8073. P. 80731A-1.
- Александров С. Е., Гаврилов Г. А., Капралов А. А., Матвеев Б. А., Ременный М. А., Сотникова Г. Ю. / Устройство для бесконтактного измерения температуры объекта. Патент РФ № 2622239.
- Александров С. Е., Гаврилов Г. А., Матвеев Б. А., Ременный М. А., Сотникова Г. Ю. / Фотометр. Патент РФ № 2610073.
- Zymelka D., Matveev B., Aleksandrov S., Sotnikova G., Gavrilov G., Saadaoui M. // Flex. Print. Electron. 2017. Vol. 2. P. 045006.
- Leonova K., Konstantinidis S., Britun N. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2022. Vol. 55(34). P. 345202.
- Irace P. H., Gopan A., Axelbaum R. L. // Combustion and Flame. 2022. Vol. 242. P. 112158.
- Woodruff C., Dean S. W., Cagle C., Croessmann C. L., Dubé P. L., Pantoya M. L. // International Journal of Heat and Mass Transfer. 2022. Vol. 187. P. 122565.
- Воронин А. В., Александров С. Е., Бер Б. Я., Брунков П. Н., Борматов А. А., Гусев В. К., Демина Е. В., Новохацкий А. Н., Павлов С. И., Прусакова М. Д., Сотникова Г. Ю., Яговкина М. А. // ЖТФ. 2016. Т. 86(3). С. 51.
- Sotnikova G. Yu., Gavrilov G. A., Kapralov A. A., Mu-ratikov K. L., Smirnova E. P. // Rev. Sci. Instrum. 2020. Vol. 91(1). P. 015119.
- Сотникова Г. Ю., Гаврилов Г. А., Капралов А. А., Смирнова Е. П. // Письма ЖТФ. 2019. Т. 45(19). С. 7.
- Sotnikova G. Yu., Gavrilov G. A., Kapralov A. A., Muratikov K. L., Passet R. S., Smirnova E. P., Sotnikov A. V. // Ferroe-lectrics. 2022. Vol. 591(1). P. 166.
- Sotnikova G. Yu., Gavrilov G. A., Kapralov A. A., Muratikov K. L., Passet R. S., Smirnova E. P., Sotnikov A. V. // Ferroe-lectrics. 2022. Vol. 591(1). P. 157.
- Highly Accurate Infrared Thermometers for Noncontact Temperature Measurements (PYROMETER OVERVIEW)|, www.advancedenergy.com
- L. Z. Kriksunov, Reference book on the basics of infrared technology, (Moscow: Soviet radio, 1978) [in Russian].
- Pyrometer Market – Global Industry Analysis, Size, Share, Growth, Trends and Forecast 2017–2025, www.transparencymarketresearch.com/pyrometer-market.html
- FLUKE, Flukeprocessinstruments.com
- D. Ya. Svet, Optical methods for measuring true temperatures (Nauka, Moscow, 1982) [in Russian].
- P. Saunders, Meas. Sci. Technol. 20, 025104 (2009).
- P. V. Novitsky, Electrical measurements of non-electric quantities. (Energy, Leningrad, 1975) [in Russian].
- A. Manoi, P. Wongnut, X. Lu, P. Bloembergen, and P. Saunders, Metrologia 57(1), 014002 (2020).
- P. Saunders and A. Manoi, Metrologia 57(2), 014002 (2020).
- M. Liang, Y. Wang, C. Wang, and Y. Wang, Measure-ment Science and Technology 33(6), 065004 (2022).
- G. Yu. Sotnikova, S. E. Aleksandrov, G. A. Gavrilov, V. V. Zabrodskiy, V. L. Suchanov, Proc. SPIE 8073, 80731D (2011).
- S. E. Aleksandrov, G. A. Gavrilov, A. A. Kapralov, G. Y. Sotnikova, D. F. Chernykh, A. N. Alekseev, A. L. Dudin, I. V. Kogan, and A. P. Shkurko, Instrum. Exp. Tech. 50(4), 572 (2007).
- Selection guide/Infrared detectors www.hamamatsu.com/
- Infrared Detector Market Research Report: ID: MRFR/ICT/9311-HCR | March 2022 | www.marketresearchfuture.com
- IoffeLED, www.ioffeled.com
- Mid-IR Photodetectors and Systems: Applications & Markets www.marketsandmarkets.com/
- Z. Bielecki, K. Achtenberg, M. Kopytko, J. Mikolajczyk, J. Wojtas, and A. Rogalski, Bull. Pol. Acad. Sci. Tech. Sci. 70(2), 140534 (2022).
- J. Chen, J. Wang, X. Li, Jin Chen, F. Yu, J. He, J. Wang, Z. Zhao, G. Li, X. Chen, and Wei Lu, Sensors 22, 677 (2022).
- G. A. Gavrilov, B. A. Matveev, and G. Yu. Sotnikova, Tech. Phys. Lett. 37(9), 866 (2011).
- S. E. Aleksandrov, G. A. Gavrilov, and G. Yu. Sotnikova, Tech. Phys. Lett. 40(8), 704 (2014).
- G. Yu. Sotnikova, S. E. Aleksandrov, and G. A. Gavrilov, Proc. of SPIE Optical Sensors, 8073, 80731A-1 (2011).
- S. E. Aleksandrov, G. A. Gavrilov, B. A. Matveev, M. A. Remennyy, and G. Yu. Sotnikova, Device for non-contact measurement of object temperature RF patent No. 2622239 [in Russian].
- S. E. Aleksandrov, G. A. Gavrilov, A. A. Kapralov, B. A. Matveev, M. A. Remennyy, and G. Yu. Sotnikova, Photome-ter, RF patent No. 2610073 [in Russian].
- D. Zymelka, B. Matveev, S. Aleksandrov, G. Sotnikova, G. Gavrilov, and M. Saadaoui, Flex. Print. Electron. 2, 045006 (2017).
- K. Leonova, K., S. Konstantinidis, and N. Britun, Journal of Physics D: Applied Physics 55(34), 345202 (2022).
- P. H. Irace, A. Gopan, and R. L. Axelbaum, Combustion and Flame 242, 112158 (2022).
- C. Woodruff, S. W. Dean, C. Cagle, C. L. Croessmann, P. L. Dubé, and M. L. Pantoya, International Journal of Heat and Mass Transfer 187, 122565 (2022).
- A. V. Voronin, S. E. Aleksandrov, B. Y. Ber, P. N. Brunkov, A. A. Bormatov, V. K. Gusev, E. V. Demina, A. N. Novokhatskii, S. I. Pavlov, M. D. Prusakova, G. Y. Sotni-
kova, and M. A. Yagovkina, Tech. Phys. 61(3), 370 (2016). - G. Yu. Sotnikova, G. A. Gavrilov, A. A. Kapralov, K. L. Muratikov, and E. P. Smirnova, Rev. Sci. Instrum. 91(1), 015119 (2020).
- G. Yu. Sotnikova, G. A. Gavrilov, A. A. Kapralov, and E. P. Smirnova, Tech. Phys. Lett. 45(10), 963 (2019).
- G. Yu. Sotnikova, G. A. Gavrilov, A. A. Kapralov, K. L. Muratikov, R. S. Passet, E. P. Smirnova, and A. V. Sotnikov, Ferroelectrics 591(1), 166 (2022).
- G. Yu. Sotnikova, G. A. Gavrilov, A. A. Kapralov, K. L. Muratikov, R. S. Passet, E. P. Smirnova, and A. V. Sotnikov, Ferroelectrics, 591(1), 157 (2022).
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Лебедев Ю. А., Шахатов В. А.
Разложение СО2 в тлеющем разряде (аналитический обзор) 323
Иванов В. А.
Электрическое поле на поверхности погруженного в плазму металлического электрода при большом отрицательном потенциале 343
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Бурлаков И. Д., Кузнецов С. А., Яковлев А. Ю.
Современные тенденции развития фотоэлектроники (Обзор материалов XXVI Международной научно-технической конференции по фотоэлектронике и приборам ночного видения) 351
Болтарь К. О., Лопухин А. А., Власов П. В., Яковлева Н. И.
Фотоприемные устройства на основе гомо- и гетероструктур двойных и тройных соединений группы антимонидов 381
Сотникова Г. Ю., Александров С. А., Гаврилов Г. А.
Средневолновая ИК-пирометрия с использованием фотодиодов на основе InAs и InAsSb (обзор) 389
ФИЗИЧЕСКОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Гавриш С. В., Логинов В. В., Пучнина С. В., Ушаков Р. М.
Влияние структурного совершенства сапфира на оптические характеристики оболочки импульсной газоразрядной лампы 404
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Денисов Д. Г., Патрикеева А. А., Морозов А. Б.
Высокоточный метод аттестации параметров формы крупногабаритных полированных плоских оптических изделий на основе расчёта и анализа спектральной плотности корреляционной функции 411
C O N T E N T S
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
Yu. A. Lebedev and V. A. Shakhatov
Decomposition of CO2 in a glow discharge (analytical review) 323
V. A. Ivanov
Electric field on the surface of a metal electrode immersed in plasma at a high negative potential 343
PHOTOELECTRONICS
I. D. Burlakov, S. A. Kuznetsov, and A. Yu. Yakovlev
Current trends in the development of photoelectronics (Review of the materials of the XXVI International scientific and technical conference on photoelectronics and night vision devices) 351
K. O. Boltar, A. A. Lopuhin, P. V. Vlasov, and N. I. Iakovleva
Homo- and heterostructures based on the binary and ternary alloys of antimonide group semiconductors 381
G. Yu. Sotnikova, S. E. Alexandrovand, and G. A. Gavrilov
Mid- Infrared Pyrometry based on InAs and InAsSb Photodiodes (a review) 389
PHYSICAL SCIENCE OF MATERIALS
S. V. Gavrish, V. V. Loginov, S. V. Puchnina, and R. M. Ushakov
Influence of the structural perfection of sapphire on the optical characteristics of the shell of a pulsed discharge lamp 404
PHYSICAL EQUIPMENT AND ITS ELEMENTS
D. G. Denisov, A. A. Patrikeeva, and A. B. Morozov
A high-precision method for attesting the shape parameters of large-sized polished flat optical products based on the calculation and analysis of the spectral density of the correlation function 411
Другие статьи выпуска
В работе рассматривается возможность описания средне- и мелкоструктурных неоднородностей профилей поверхностей крупногабаритных оптических изделий, используя двумерную спектральную плотность корреляционной функции (СПКФ). Предложен метод измерения амплитудных значений пространственных неоднородностей в широком спектральном диапазоне, на основе теоремы Парсеваля и Винера-Хинчина, используя алгоритм приведения двумерной функции СПКФ к одномерному виду. Данный метод позволяет сравнивать измеренную функцию СПКФ с теоретически рассчитанной и указанной в техническом задании на изготовление оптической детали, а также выдвигать требования на аппаратуру контроля. В статье представлено математическое описание метода приведения двумерной функции СПКФ к одномерному виду функции и предложен алгоритм программного обеспечения, разработанного для реализации данного метода приведения функции СПКФ, и его апробация как на математических моделях поверхностей, так и на результатах экспериментальных измерений.
Приведены результаты исследований влияния на оптическое пропускание дефектов структуры сапфировой трубы, выращенной по методу А. В. Степанова, изменения прозрачности монокристалла после механической обработки поверхности и воздействия ультрафиолетового и радиационных облучений.
Исследованы фотоприемные устройства (ФПУ), детектирующие излучение в средневолновом инфракрасном (ИК) диапазоне спектра, изготовленные на основе многослойных структур антимонидов с поглощающими слоями InSb, AlxIn1-xSb и InAs1-xSbx в том числе структуры с барьерными слоями InAlSb (InSb/InAlSb/InSb) и InAsSb (InAsSb/AlAsSb/InAsSb), предназначенные для оптико-электронных систем и приборных комплексов. Изготовлены фоточувствительные элементы (ФЧЭ) различной топологии, показано, что широкозонные тройные растворы AlxIn1-xSb и InAs1-xSbx, являются альтернативой узкозонному бинарному соединению InSb, поскольку фотодиоды на их основе имеют меньшие темновые токи, а, следовательно, шу-мы. Рассчитаны средние значения обнаружительной способности и эквивалентной шуму разности температур (ЭШРТ) ФПУ, изготовленных на основе матриц фоточувствитель-ных элементов (МФЧЭ) различной топологии.
25–27 мая 2022 года в Государственном научном центре Российской Федерации Акционерном обществе «НПО «Орион» состоялась XXVI Международная научно-техническая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения.
Найдено аналитическое решение уравнения Пуассона для расчета электрического поля на поверхности электрода, погруженного в однородную неизотермическую бесстолкновительную плазму, состоящую из электронов и однозарядных ионов с зарядом e, с температурой электронов Te, при больших значениях отрицательного электрического потенциала , когда параметр |e| / Te >> 1. Установлено, что размер слоя L плазмы с нарушенной квазинейтральностью вблизи высокопотенциального электрода увеличивается по сравнению с радиусом Дебая rD пропорционально параметру [e / 2Te]3/4 , L = rD [e / 2Te]3/4. Показано, что в лабораторной плазме с плотностью в интервале значений 10101013 см3 и температурой электронов от 1 до 10 эВ при больших значениях потенциала и параметра e/Te >> 1 электрическое поле, рассчитанное по полученной формуле E = | L вблизи поверхности погруженного в плазму электрода, от 20 до 200 раз меньше значений полей, рассчитанных по классической формуле E = | rD, полученной при малых потенциала и при значениях параметра e / Te << 1.
Приведен аналитический обзор результатов экспериментальных и теоретических исследований разложения углекислого газа в тлеющих разрядах. Из сравнительного анализа литературных данных предпринята попытка определить параметры разряда, при которых обеспечиваются максимальные значения степени разложения углекислого газа и энергетическая эффективность для конкретного устройства. Максимальные значения степени разложения сухого углекислого газа 40 % и энергетической эффективности 32 % достигаются в разрядных устройствах при силе тока от 10 до 100 мА, удельной мощности от 0,2 до 3,6 Вт/см, приходящейся на единицу длины положительного столба, при средних (50–60 Торр) и атмосферном давлениях в дозвуковом протоке газа с объёмным расходом 300 см3/с. Перспективными могут быть разрядные устройства, в которых для утилизации углекислого газа применяется импульсно-периодический (в диапазоне от несколько десятых долей до несколько десятков кГц) тлеющий разряд атмосферного давления.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400