Статья: О возможности использования емкостного ВЧ-разряда в источнике плазмы с замкнутым дрейфом электронов (2015)

Читать онлайн

Проведено исследование энергетических распределений ионов в плазменной струе, полученной при помощи емкостного ВЧ-разряда во внешнем радиальном магнитном поле внутри тороидального разрядного канала. Показано, что посредством такого разряда на мощностях 100— 200 Вт можно создать ускоренный поток ионов с энергиями 230 эВ.

Research of ion energy distributions in a plasma flow from the toroidal chamber with a capacitive RF discharge in a radial magnetic field is presented. It is demonstrated that by the means of this discharge an ion beam average energy of 230 eV can be achieved.

Ключевые фразы: высокочастотный разряд, источник плазмы, замкнутый дрейф электронов
Автор (ы): Задириев Илья Игоревич, Рухадзе Анри Амвросьевич, Кралькина Елена Александровна, Вавилин Константин Викторович, Павлов Владимир Борисович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
eLIBRARY ID
25033478
Для цитирования:
ЗАДИРИЕВ И. И., РУХАДЗЕ А. А., КРАЛЬКИНА Е. А., ВАВИЛИН К. В., ПАВЛОВ В. Б. О ВОЗМОЖНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ЕМКОСТНОГО ВЧ-РАЗРЯДА В ИСТОЧНИКЕ ПЛАЗМЫ С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №6
Текстовый фрагмент статьи