Статья: Образование термодефектов в кремнии, выращенном бестигельной зонной плавкой (2016)

Читать онлайн

В работе обсуждаются причины образования термодоноров (ТД) и термоакцепторов (ТА) в кремнии с низкой концентрацией кислорода, выращенном методом бестигельной зонной плавки. Анализ результатов термообработок в диапазоне температур 400—1150 оС показывает, что основной вклад в образование ТД вносят атомы межузельного железа. Вероятной причиной образования ТА при высокотемпературной термообработке (ВТО) являются атомы железа в положении замещения и преципитаты железa, образующиеся при низкотемпературных отжигах (НТО)(400—600о). Концентрации ТД и ТА после ВТО зависят от вида и плотности структурных дефектов в материале и условий ТО: скорости охлаждения и газовой среды (кислород, аргон).

The paper discusses reasons of thermodefects formation (donors and acceptors) in a float zone silicon (FZ-Si). Results of thermal treatments over temperature range of 400—1150 oC show that the interstitial iron is the major contribution to the donor formation. A substitutional iron is probable reason of the acceptors formation at high temperature treatments. At low temperature treatments (400—600 oC), additional acceptors are created by iron precipitates. Defect concentrations dependent on types and densities of the structure defects, cooling rate and gas ambient (oxygen, argon).

Ключевые фразы: кремний, термодефект, термодонор, термоакцептор, железо, отжиг, зонная плавка
Автор (ы): Климанов Евгений Алексеевич
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
eLIBRARY ID
27218197
Для цитирования:
КЛИМАНОВ Е. А. ОБРАЗОВАНИЕ ТЕРМОДЕФЕКТОВ В КРЕМНИИ, ВЫРАЩЕННОМ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКОЙ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2016. ТОМ 4, №5
Текстовый фрагмент статьи