Статья: Исследование свойств фотоприемных устройств на основе гетероэпитаксиальных структур InGaAs, предназначенных для формирователей 3D-изображений (2016)

Читать онлайн

Проведены исследования матричных фотоприемных устройств формата 320256 элементов на основе четырехслойных гетероструктур р+-B-n-N+-типа с широкозонным барьерным слоем. Гетероэпитаксиальные структуры (ГЭС) с поглощающим узкозонным слоем InGaAs n-типа проводимости выращивались методами мосгидридной эпитаксии (МОСГЭ) на подложках InP. С помощью четырехкомпонентного тонкого слоя AlInGaAs n-типа с градиентным изменением ширины запрещенной зоны устранен разрыв между поглощающим (In0,53Ga0,47As) и барьерным (In0,52Al0,48As) слоями. Использование дельта-легированных слоев в составе гетероструктуры позволило уменьшить барьер в валентной зоне и устранить немонотонность энергетических уровней. Проведены экспериментальные исследования темнового тока, среднее значение которого по матрицам фотодиодов с шагом 30 мкм не превышало 10 фА.

SWIR 320256 FPAs based on р+-B-n-N+-heterostructures with InGaAs absorber and InAlAs barrier layers have been developed and investigated. The InGaAs/InAlAs heterostructures are formed by Metal Organic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) on the n+ type InP substrates. The band discontinuity between absorber In0.53Ga0.47As- and barrier In0.52Al0.48As layers was removed by grown AlInGaAs thin n-layer with gradient composition. Delta-doped layers including into heterostructure are used for barrier smoothing and energy discontinuity removing in valence band. The InGaAs/InP photodiodes performance has been estimated by measuring dark current. An average value of dark current over the photodiode arrays did not exceeded 10 fA.

Ключевые фразы: InGaAs, inp, коротковолновый (SWIR) инфракрасный (ИК) спектральный диапазон, гетероэпитаксиальные структуры (ГЭС), матрица фоточувствительных элементов (МФЧЭ), фотоприемное устройство (ФПУ), темновой ток, барьерный слой
Автор (ы): Яковлева Наталья Ивановна, Болтарь Константин Олегович, Седнев Михаил Васильевич, Никонов Антон Викторович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
27218196
Для цитирования:
ЯКОВЛЕВА Н. И., БОЛТАРЬ К., СЕДНЕВ М. В., НИКОНОВ А. В. ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ФОТОПРИЕМНЫХ УСТРОЙСТВ НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР INGAAS, ПРЕДНАЗНАЧЕННЫХ ДЛЯ ФОРМИРОВАТЕЛЕЙ 3D-ИЗОБРАЖЕНИЙ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2016. ТОМ 4, №5
Текстовый фрагмент статьи