Читать онлайн

Методом рентгеновского малоуглового рассеяния исследована дефектная структура кристаллов 4H-SiC, выращенных методом PVT. Обнаружены массово-фрактальные и поверхностно-фрактальные поровые дефекты нанометровых масштабов. Определены их линейные характеристики и фрактальные размерности. Построены функции распределения рассеивающих неоднородностей по радиусам инерции. Установлено, что максимальные значения функций распределения (наиболее вероятные радиусы инерции) структурных неоднородностей приходятся на маломасштабные образования с радиусами инерции, лежащими в интервале 25–30 Å.

By X-ray small-angle scattering, we investigated the defect structure of 4H-SiC crystals grown by the PVT method. Mass-fractal and surface-fractal porous defects of nanometer scales were detected. Their linear characteristics and fractal dimensions are determined. The distribution functions of the scattering inhomogeneities along radii of inertia are constructed. It is established that the maximum values of the distribution functions (the most probable radii of inertia) of structural inhomogeneities fall on small-scale formations with radii of inertia located in the interval 2530 Å.

Ключевые фразы: карбид кремния, структурные неоднородности, радиус инерции, фрактальная размерность
Автор (ы): Сидоров Роман Игоревич, Скворцов Денис Александрович, Нищев Константин Николаевич, Мамин Бари Фяттяхович, Неверов Вячеслав Александрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
538.971. Физика поверхностей и границ раздела (включая эмиссию и столкновение)
eLIBRARY ID
32232057
Для цитирования:
СИДОРОВ Р. И., СКВОРЦОВ Д. А., НИЩЕВ К. Н., МАМИН Б. Ф., НЕВЕРОВ В. А. НАНОРАЗМЕРНЫЕ НЕОДНОРОДНОСТИ КРИСТАЛЛОВ 4H-SIC // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №6
Текстовый фрагмент статьи