Статья: Волновая структура, возбуждаемая в плазме цилиндрического индуктивного источника с внешним магнитным полем (2017)

Читать онлайн

Экспериментально показано, что при достижении ВЧ-генератором мощности 500 Вт и магнитных полях более 10 Гс в цилиндрическом индуктивном источнике плазмы с внешним магнитным полем формируется волновая структура. В области расположения антенны продольная составляющая ВЧ магнитного поля достигает максимума у стенок источника плазмы, в то время как на расстояниях от антенны более 10 см максимум поля наблюдается на оси источника. Одновременно по мере удаления от антенны формируется явно выраженный пик радиального распределение зондового ионного тока насыщения на оси источника плазмы.

It is experimentally shown, that the wave structure is formed in plasma source with external magnetic field at RF power more than 500 W and magnetic fields more than 10 Gs. The axial component of RF magnetic field achieve maximum near the walls of plasma source in the antenna area, while 10 cm below the antenna area the maximum is located on the axis of the plasma source. Simultaneously the explicit peak of ion current distribution is formed on the plasma source axis in process of downward movement from antenna region.

Ключевые фразы: геликонный разряд, индуктивно-связанная плазма, магнитные зонды
Автор (ы): Кралькина Елена Александровна, Никонов Александр Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525.99. Прочие виды разрядов в газах при пониженном давлении
eLIBRARY ID
32232047
Для цитирования:
КРАЛЬКИНА Е. А., НИКОНОВ А. М. ВОЛНОВАЯ СТРУКТУРА, ВОЗБУЖДАЕМАЯ В ПЛАЗМЕ ЦИЛИНДРИЧЕСКОГО ИНДУКТИВНОГО ИСТОЧНИКА С ВНЕШНИМ МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №6
Текстовый фрагмент статьи