Статья: Влияние термической обработки на пространственную неоднородность времени жизни неосновных носителей заряда в кремниевых пластинах (2017)

Читать онлайн

Методом спада фотопроводимости -PCD в образцах кремниевых пластин различного типа исследовалось влияние технологических операций на образование пространственных (кольцевых) неоднородностей в распределении времени жизни неосновных носителей заряда. Показано, что средняя величина неоднородности, небольшая в исходных образцах, возрастает при проведении термических операций, используемых при изготовлении фотодиодов. Неоднородности сильнее выражены в кремнии n-типа. Обнаруженные кольцевые неоднородности в распределении времени жизни коррелируют с неоднородностями в распределении микродефектов. На основе полученных результатов предполагается, что причиной снижения времени жизни в кольцевых неоднородностях являются указанные микродефекты, представляющие собой кислородные преципитаты с петлевыми дислокациями, декорированными быстродиффундирующими примесями.

The microwave-detected photoconductance decay (-PCD) was used to monitor influence of heat treatment on forming the ring distribution carrier lifetime in silicon wafers. The increase in ring-like patterns size was observed after high temperature treatments for the photodiodes realization. This ring patterns are weaker in p-type silicon. A strong correlation was observed between distributions of the carrier lifetime and microdefects. From our results, it can be reasonably deduced that ring-like patterns in distribution of the carrier lifetime are related to oxide precipitates decorated by fast impurities.

Ключевые фразы: ФОТОПРОВОДИМОСТЬ, кольцевые неоднородности, микродефекты, кремниевая пластина
Автор (ы): Вильдяева Мария Николаевна, Демидов Станислав Стефанович, Климанов Евгений Алексеевич, Ляликов Алексей Владимирович, Фокина Алёна Сергеевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
eLIBRARY ID
32232053
Для цитирования:
ВИЛЬДЯЕВА М. Н., ДЕМИДОВ С. С., КЛИМАНОВ Е. А., ЛЯЛИКОВ А. В., ФОКИНА А. С. ВЛИЯНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ПРОСТРАНСТВЕННУЮ НЕОДНОРОДНОСТЬ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НЕОСНОВНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №6
Текстовый фрагмент статьи