Статья: Исследование фотодиодов с граничной длиной волны до 2,06 мкм на основе структур InGaAs (2017)

Читать онлайн

Представлены результаты исследований вольт-амперных характеристик и спектральной характеристики чувствительности фотодиодов на основе выращенных методом MOCгидридной эпитаксии гетероэпитаксиальных структур с поглощающим слоем In0,67Ga0,33As, легированным Zn, на подложках InP. Фотодиоды изготовлены по меза-технологии. Правая граница спектральной характеристики чувствительности фотодиодов по уровню 0,5 составляет 2,06 мкм при комнатной температуре. Исследованы зависимости спектров фоточувствительности фотодиодов в диапазоне температур 230–300 К.

Consideration is given to results of researches of the current-voltage characteristic and spectral characteristic of sensitivity for photodiodes based on heteroepitaxial structures grown up by the MOS hydride epitaxy method. The In0.67Ga0.33As photodiodes have an absorbing layer, alloyed by Zn on the InP substrates. Photodiodes have been manufactured by mesa technology. The right border of a spectral characteristic of sensitivity of photodiodes on level 0.5 is equal to 2.06 microns at the room temperature. Dependences of photodiodes photosensitivity are investigated in the range of temperatures of 230–300 K.

Ключевые фразы: InGaAs, фотодиод, меза-технология, спектральная характеристика, вольтамперная характеристика, темновой ток
Автор (ы): Болтарь Константин Олегович, Иродов Никита Александрович, Седнев Михаил Васильевич, Мармалюк Александр Анатольевич, Ладугин Максим Анатольевич, Рябоштан Юрий Леонидович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
621.383. Фотоэлектроника
eLIBRARY ID
32232052
Для цитирования:
БОЛТАРЬ К., ИРОДОВ Н. А., СЕДНЕВ М. В., МАРМАЛЮК А. А., ЛАДУГИН М. А., РЯБОШТАН Ю. Л. ИССЛЕДОВАНИЕ ФОТОДИОДОВ С ГРАНИЧНОЙ ДЛИНОЙ ВОЛНЫ ДО 2,06 МКМ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР INGAAS // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №6
Текстовый фрагмент статьи