Статья: Анализ многослойных гетероэпитаксиальных структур на основе CdHgTe по спектрам ИК-пропускания (2017)

Читать онлайн

Проведено исследование спектров пропускания многослойных гетероэпитаксиальных структур на основе тройных твёрдых растворов кадмий-ртуть-теллур. Реализована модель расчета характеристик эпитаксиальных слоев, входящих в состав сложной многослойной гетероэпитаксиальной структуры, из экспериментального спектра пропускания. Для вычисления параметров слоев реализован метод пакетного градиентного спуска. Проведен расчет параметров образцов гетероэпитаксиальных структур, выращенных методами жидкофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии: определены толщины рабочих фоточувствительных слоев с погрешностью не более 0,1 мкм и состав КРТ с погрешностью не более 1 %. Разработанные модели показывают эффективность для экспресс-контроля оптических характеристик образцов полупроводниковых структур.

Research of transmission spectra of the MCT multilayer heteroepitaxial structures grown by molecular beam epitaxy and liquid phase epitaxy was made. In this study, spatial heterogeneity of photosensitive pixels in focal plane array was researched. The composition and thickness of MCT epitaxial layers in multilayer structure were calculated from transmission spectra. The batch gradient descent method was used for calculation of characteristics. This calculation of characteristics of the structures was carried out with increased accuracy. The developed model enables us to calculate the thicknesses of the working photosensitive layers with an error of not more than 0.1 μm and the composition of MCT with an error of not more than 1 %. The developed models show efficiency for express control of the optical characteristics of semiconductor structures used in modern optoelectronic systems.

Ключевые фразы: спектр пропускания, многослойная структура, CdHgTe, матричный метод, ГРАДИЕНТНЫЙ СПУСК, оптические характеристики
Автор (ы): Никонов Антон Викторович, Яковлева Наталья Ивановна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.384.3. Инфракрасная техника
eLIBRARY ID
30484015
Для цитирования:
НИКОНОВ А. В., ЯКОВЛЕВА Н. И. АНАЛИЗ МНОГОСЛОЙНЫХ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ CDHGTE ПО СПЕКТРАМ ИК-ПРОПУСКАНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №5
Текстовый фрагмент статьи