Статья: Структура пленок AlN, полученных нитридизацией слоев алюминия на сапфировых подложках (2017)

Читать онлайн

Методами электронографии, электронной и рентгеновской дифракции изучено строение пленок, полученных отжигом в азоте предварительно нанесенных слоев металлического алюминия на (0001) поверхность сапфировых пластин. Пленки нитрида алюминия на подложках сапфира растут, в соответствии с ориентационным соотношением (0001)<10 1 0>AlN║ ║(0001)<11 2 0>Al2O3. Наилучшие результаты были получены при нитридизации алюминиевых пленок на сапфире в режиме нагрева до температуры 1200 °С (со скоростью нагрева ~100 °С/час) и выдержке в течении 1 часа.

The structure of films obtained by annealing in the nitrogen of previously deposited layers of metallic aluminum on (0001) surface of sapphire plates was studied by electron diffraction, electron and x-ray diffraction. Films of aluminum nitride on sapphire substrates have been grown in accordance with the orientation ratio (0001)<10 1 0>AlN║(0001)<11 2 0>Al2O3. The best results were obtained with nitriding of aluminum films on sapphire in the heating mode up to a temperature of 1200 °C (with a heating rate of 100 °C/h) and holding for 1 hour.

Ключевые фразы: сапфир, дифракция, ПЛЕНКИ, нитридизация
Автор (ы): Буташин Андрей Викторович, Муслимов Арсен Эмирбегович, Колымагин Андрей Борисович, Клевачев Алексей Михайлович, Сульянов Сергей Николаевич, Каневский Владимир Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.016. Оптические явления, зависящие от свойств поверхностей раздела
539.231. механическим путем, например напылением
eLIBRARY ID
30484019
Для цитирования:
БУТАШИН А. В., МУСЛИМОВ А. Э., КОЛЫМАГИН А. Б., КЛЕВАЧЕВ А. М., СУЛЬЯНОВ С. Н., КАНЕВСКИЙ В. М. СТРУКТУРА ПЛЕНОК ALN, ПОЛУЧЕННЫХ НИТРИДИЗАЦИЕЙ СЛОЕВ АЛЮМИНИЯ НА САПФИРОВЫХ ПОДЛОЖКАХ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №5
Текстовый фрагмент статьи