Статья: Влияние методов резки кремниевых подложек на качество органических светоизлучающих диодов (2017)

Читать онлайн

Данная работа посвящена решению проблемы качества резки кремниевых приборных пластин толщиной 725 мкм на кристаллы с органическими светоизлучающими диодами (ОСИД или OLED – Organic light-emitting diode), которая является актуальной в производстве микродисплеев на основе ОСИД. В статье рассматриваются методы резки кремниевых приборных пластин на кристаллы с ОСИД и методы контроля качества кристаллов ОСИД. Работа направлена на внедрение высокоэффективного и высококачественного технологического процесса прецизионной лазерной резки кремниевых пластин на основе метода лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ) в производство микродисплеев на OLED. Представлены современные методы и приборы контроля качества, их применение позволяет повысить достоверность проверки при комплексных обследованиях ОСИД микродисплеев.

This work is devoted to solving the problem of the quality of cutting silicon wafer with thickness of 725 microns on the crystals with organic light emitting diodes (OLEDs). The article deals with traditional and new methods of cutting silicon wafers on crystals with OLEDs and modern quality control methods of OLED crystals. This work is aimed at improvement of quality of OLEDs by implementing the process of cutting silicon wafers by laser controlled thermocracking (LCT).

Ключевые фразы: органические светоизлучающие диоды, осид, кремний, разрезание кремниевых приборных пластин на кристаллы, лазерное управляемое термораскалывание, лут, методы контроля качества
Автор (ы): Кондратенко Владимир Степанович, Иванов Владимир Игоревич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.373.8. Квантовые генераторы. Лазеры
658.562. Производственный контроль. Технический контроль производства. Контроль и надзор за качеством
eLIBRARY ID
28409099
Для цитирования:
КОНДРАТЕНКО В. С., ИВАНОВ В. И. ВЛИЯНИЕ МЕТОДОВ РЕЗКИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК НА КАЧЕСТВО ОРГАНИЧЕСКИХ СВЕТОИЗЛУЧАЮЩИХ ДИОДОВ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №1
Текстовый фрагмент статьи