Статья: Влияние высокой температуры на свойства полупрозрачных слоев золота (2017)

Читать онлайн

Представлены результаты исследования воздействия высокой температуры на свойства полупрозрачных слоев золота, используемых при изготовлении фотодиодов Шоттки. Показано влияние высокой температуры на удельное сопротивление и оптическое пропускание Auпленок толщиной 8÷21 нм. Также показано изменение структуры Au-пленки толщиной 10 нм при воздействии высокой температуры. На основании представленных данных делается вывод, что температура 300С является предельной температурой для фотодиодов Шоттки с золотым барьерным контактом, при превышении которой резко возрастает необратимая деградация фотодиодов.

Consideration is given to the influence of high temperature on properties of the semitransparent golden layers. It is shown that the high temperature impacts on a specific resistance and an optical transmission of Au-films (thickness of 8÷21 nm). It is also shown that the modification of the Au-film structure (thickness 10 nm) arises from a high temperature. It is obtained that the temperature of 300 °C is the temperature limit for the Shottky photodiodes with a gold barrier contact. The photodiode degradation goes up sharply at a temperature over 300 С.

Ключевые фразы: фотодиод шоттки, удельное сопротивление, оптическое пропускание, барьерный контакт, фосфид галлия, au-пленка
Автор (ы): Рудневский Владимир Сергеевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
eLIBRARY ID
28409100
Для цитирования:
РУДНЕВСКИЙ В. С. ВЛИЯНИЕ ВЫСОКОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ НА СВОЙСТВА ПОЛУПРОЗРАЧНЫХ СЛОЕВ ЗОЛОТА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №1
Текстовый фрагмент статьи