SciNetwork

Ключевая фраза: magnetron sputtering

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «magnetron sputtering».
Статьи: 5
01.Исследование тонкопленочных резисторов на основе нитрида тантала, полученных методом реактивного магнетронного распыления, для устройств радиофотоники (2021)
Сохранить в закладках
Журнал:
Прикладная физика
Автор(ы):
Ерофеев Е. В., Полынцев Е. С., Ишуткин С. В.
02.Изменение структуры и электрофизических свойств пористых пленок диоксида кремния при модификации углеродом в магнетронном разряде (2019)
Сохранить в закладках
Журнал:
Успехи прикладной физики
Автор(ы):
Сахаров Ю. В.
03.Обеспечение равномерной толщины токопроводящего покрытия на внутренней поверхности полусферического резонатора магнетронным напылением (2021)
Сохранить в закладках
Журнал:
Успехи прикладной физики
Автор(ы):
Кондратенко В. С., Сагателян Г. Р., Шишлов А. В., Былинкин М. Н.
04.Соотношение ионного и атомного компонентов бора в процессе формирования покрытия методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения (2022)
Сохранить в закладках
Журнал:
Прикладная физика
Автор(ы):
Юшков Г. Ю., Юшков Ю. Г., Окс Е., Тюньков А. В.
05.Получение микропористых слоев оксида цинка (2023)
Сохранить в закладках
Журнал:
Прикладная физика
Автор(ы):
Асваров А. Ш., Ахмедов А. К., Каневский В. М.
SciNetwork