ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Получение микропористых слоев оксида цинка (2023)

Читать онлайн

Пористые слои полупроводниковых оксидных материалов привлекают все большее внимание как потенциальные материалы для использования в различных приложениях, требующих большой удельной поверхности (катализаторы, датчики, суперконденсаторы, фотоэлектрохимические преобразователи энергии и др.). В работе пред-ложен двухстадийный способ формирования микропористых слоев ZnO, заключающийся в предварительном формировании композитных слоев ZnO–Zn и последующем их вакуумном отжиге. На основании данных рентгеновской дифракции, растровой электронной микроскопии, рентгеновской энергодисперсионной спектроскопии показано, что часовой вакуумный отжиг композитных слоев при 400 оC приводит к полному удалению избыточного цинка, в результате чего формируются слои ZnO с микропористой структурой.

Porous films based on semiconductor oxide materials have gained growing attention as potential materials for use in various fields requiring larger specific surface areas, such as catalysts, sensors, supercapacitors, photoelectrochemical energy converters, etc. This study reports a route to form microporous ZnO films, wherein in order to fabricate a porous thin film structure a vacum annealing process for as-deposited dense ZnO–Zn composite films is employed. Based on the XRD, SEM and EDX data, it was shown that one-hour vacuum annealing of the ZnO–Zn films at 400 оC leads to the complete removal of excess Zn from the composite film, resulting in the formation of ZnO layers with a microporous structure.

Ключевые фразы: цинк, оксид цинка, слой, композит, магнетронное распыление, вакуумный отжиг, пористость, Zn, ZnO, film, composite, magnetron sputtering, vacuum annealing, porosity
Автор (ы): Асваров Абил Шамсудинович
Соавтор (ы): Ахмедов Ахмед Камильевич, Каневский Владимир Михайлович
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

УДК
539.234. испарением и конденсацией
661.847.22. Оксид цинка белый. Цинковые белила. Белоснежная белая
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-1-66-71
eLIBRARY ID
50335525
Для цитирования:
АСВАРОВ А. Ш., АХМЕДОВ А. К., КАНЕВСКИЙ В. М. ПОЛУЧЕНИЕ МИКРОПОРИСТЫХ СЛОЕВ ОКСИДА ЦИНКА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2023. №1
Текстовый фрагмент статьи