Электронно-лучевое осаждение тонкопленочного магнито-диэлектрического покрытия на основе железа и алюмооксидной керамики форвакуумным плазменным источником электронов (2023)

Описаны результаты эксперимента по осаждению тонкопленочного магнито-диэлектрического покрытия при последовательном электронно-лучевом испарении в гелии и кислороде форвакуумного диапазона давлений (5 Па) мишени из стали и алюмооксидной керамики. Методом ферромагнитного резонанса продемонстрировано наличие у покрытия магнитных свойств, рентгенографическое исследование под-твердило наличие в покрытии магнитного оксида Fe3O4, а измеренные оптическим профилометром толщины покрытий составили 3–6 мкм.

The results of an experiment on a thin-film magneto-dielectric coating deposition under successive electron-beam radiation in helium and oxygen at a fore-vacuum pressure (5 Pa) of samples made of steel and alumina ceramics are described. The presence of a coating of magnetic properties was demonstrated by the method of ferromagnetic resonance, the X-ray study confirmed the presence of a coating of Fe3O4 magnetic oxide, and the coatings measured by an optical profilometer were 3–6 mm.

Тип: Статья
Автор (ы): Золотухин Денис Борисович
Соавтор (ы): Фролова Валерия Петровна, Тюньков Андрей Владимирович, Юшков Юрий Георгиевич

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.533.9. Действие пучков электронов
537.563. Способы ионизации газов
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-1-61-65
eLIBRARY ID
50335524
Текстовый фрагмент статьи