Описаны результаты эксперимента по осаждению тонкопленочного магнито-диэлектрического покрытия при последовательном электронно-лучевом испарении в гелии и кислороде форвакуумного диапазона давлений (5 Па) мишени из стали и алюмооксидной керамики. Методом ферромагнитного резонанса продемонстрировано наличие у покрытия магнитных свойств, рентгенографическое исследование под-твердило наличие в покрытии магнитного оксида Fe3O4, а измеренные оптическим профилометром толщины покрытий составили 3–6 мкм.
The results of an experiment on a thin-film magneto-dielectric coating deposition under successive electron-beam radiation in helium and oxygen at a fore-vacuum pressure (5 Pa) of samples made of steel and alumina ceramics are described. The presence of a coating of magnetic properties was demonstrated by the method of ferromagnetic resonance, the X-ray study confirmed the presence of a coating of Fe3O4 magnetic oxide, and the coatings measured by an optical profilometer were 3–6 mm.
Идентификаторы и классификаторы
- Префикс DOI
- 10.51368/1996-0948-2023-1-61-65
- eLIBRARY ID
- 50335524