Планарная магнетронная распылительная система с инжекцией электронов и отражающим электродом (2023)

Исследованы особенности работы разрядной системы на основе планарного магнетрона с дополнительной инжекцией электронов и коническим отражающим электродом. Инжекция электронов осуществлялась из тлеющего разряда с полым катодом, размещенным с обратной стороны мишени. Мишень магнетронного разряда диаметром 125 мм была выполнена из меди. Давление рабочего газа (аргон) варьировалось в диапазоне от 3 до 0,5 мТорр. Разряды функционировали в непрерывном режиме. Представлены результаты влияния отражающего электрода на радиальную однородность генерируемой плазмы, а также степень его распыления. Исследовано влияние рабочего давления на радиальную однородность, поверхностную и фазовую структура осаждаемых пленок меди.

The features of the operation of a discharge system based on a planar magnetron with additional electron injection and a conical reflecting electrode are investigated. The injection of electrons was carried out from a glow discharge with a hollow cathode placed on the back side of the target. The magnetron discharge target with a diameter of 125 mm was made of copper. The pressure of the working gas (argon) varied in the range from 3 to 0.5 mTorr. The discharges functioned in a continuous mode. The results of the influence of the reflecting electrode on the radial uniformity of the generated plasma, as well as the degree of its sputtering, are presented. The radial uniformity and the surface and phase structure of copper films formed when the operating pressure decreases down to the lowest possible (0.5 mTorr) are investigated.

Тип: Статья
Автор (ы): Шандриков Максим Валентинович
Соавтор (ы): Черкасов Александр Алексеевич
Ключевые фразы: ПЛЕНКИ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.525. Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-1-15-21
eLIBRARY ID
50335516