Статья: Соотношение ионного и атомного компонентов бора в процессе формирования покрытия методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения

Скачать

Предложен метод экспериментального определения соотношения ионного и атомного компонентов бора в процессе формирования покрытия магнетронным распылением и электронно-лучевым испарением. Метод основан на сравнительном анализе приращения веса подложек оригинальных конденсационных зондов с поперечным магнитным полем и без него. Установлено, что при электронно-лучевом испарении определяющий вклад в формирование покрытия вносит ионная составляющая, а при магнетронном распылении – атомная. На основании оценки каждого из этих вкладов определено отношение концентрации атомарного и ионизованного компонентов бора в плазме электронного пучка и в плазме магнетронного разряда.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Юшков Георгий Юрьевич
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2022-4-22-28
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2022
Автор(ы): Юшков Г. Ю., Юшков Ю. Г., Окс Е., Тюньков А. В.
Ключевые фразы: магнетронное распыление, электронно-лучевое испарение, ПЛЕНКИ БОРА, измерение параметров плазмы, magnetron sputtering, electron beam evaporation, boron films, condensation probe, measurement of plasma parameters, конденсационный зонд
Каталог SCI: Физика
УДК: 537.525. Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (1)

01. Статья: КОНСТРУКТИВНЫЕ И МЕХАТРОННЫЕ АСПЕКТЫ СОВЕРШЕНСТВОВАНИЯ ВНУТРИТРУБНОГО ОЧИСТНОГО УСТРОЙСТВА ДЛЯ РЕШЕНИЯ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.