Способы изготовления самонесущих рентгеношаблонов (2022)

Описаны конструкция и способы изготовления самонесущих высококонтрастных в рентгеновском спектральном диапазоне длин волн ( ≈ 0,6÷14 Å) рентгеношаблонов, являющихся инструментом для формирования высокоаспектных резистивных топологий толщиной до 1 мм и более, причем как из позитивных, так и негативных рентгенорезистов. Подробно описаны два способа изготовления: на основе плазмохимического травления и на основе лазерной резки. Были изготовлены образцы обоими этими способами и проведено их сравнение. Выполненная работа показывает, что таким образом можно изготавливать самонесущие высококонтрастные рентгеношаблоны и LIGA-шаблоны из промышленно выпускаемых фольг тяжелых металлов, таких как тантал и др. с минимальными топологическими размерами до 15 мкм. Способ лазерной резки с использованием мощного фемтосекундного лазера более оперативен и требует существенно меньшей технологической подготовки и меньшего количества операций для его реализации.

The design and methods of manufacturing self-supporting high-contrast in the X-ray spectral wavelength range (λ ≈ 0.6÷14 Å) X-ray masks are described, which are a tool for the formation of high-aspect resistive topologies with a thickness of up to 1 mm or more, both of positive and negative X-ray resists. Two manufacturing methods are described in detail, namely: on the basis of plasma chemical etching and on the basis of laser micro-processing (laser cutting). Samples were made by both of these methods and their comparison was carried out. The work carried out shows that these methods can be used to produce self-supporting high-contrast X-ray masks and LIGA-masks from industrially produced heavy metal foils, such as tantalum and other with minimum topological dimensions up to 15 microns. The method of laser cutting using a powerful femtosecond laser is more efficient and requires significantly less technological preparation and fewer operations for its implementation.

Тип: Статья
Автор (ы): Генцелев Александр Николаевич
Соавтор (ы): Баев Сергей Геннадьевич

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
539.1.043. Физические действия (тепловые, оптические и т.п.)
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2022-1-75-82
eLIBRARY ID
43895217
Текстовый фрагмент статьи