Статья: О накоплении продуктов распыления сегнетоэлектрической мишени в плазме тлеющего высокочастотного разряда (2012)

Читать онлайн

Обнаружена зона накопления микрочастиц по рассеиванию излучения лазера на парах меди в плазме высокочастотного емкостного разряда при напылении многокомпонентных наноразмерных сегнетоэлектрических пленок, которая находится на границе раздела отрицательного свечения и темного катодного пространства тлеющего разряда. Предполагается, что таковыми частицами являются заряженные продукты распыления сегнетоэлектрической мишени.

It is possible to detect the microparticle accumulation area between the cathode dark space and negative glow by scattering of copper vapor laser radiation in the high-frequency glow discharge plasma. It is supposed that these particles are the charged products of the ferroelectric target to be sputtered.

Ключевые фразы: газовый разряд, плазма, лазерное излучение, рассеяние света
Автор (ы): Зинченко Сергей Павлович (Zinchenko S. P.), Толмачев Геннадий Николаевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.52. Электрические разряды
Для цитирования:
ЗИНЧЕНКО С. П., ТОЛМАЧЕВ Г. Н. О НАКОПЛЕНИИ ПРОДУКТОВ РАСПЫЛЕНИЯ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ МИШЕНИ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2012. №5
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.