Читать онлайн

Показано, что погрешности зондовой диагностики покоящейся или медленно движущейся плазмы Q-машин или разряда постоянного тока обычно лежат в диапазоне ± (20— 30) %. Рассмотрены проблемы зондовых измерений в высокочастотной (ВЧ) плазме и современные способы их разрешения. Объективность зондовой диагностики ВЧ-плазмы установлена по взаимному согласованию функций распределения электронов по энергиям, измеренных в одном эксперименте зондами Ленгмюра и оптическим методом относительных интенсивностей спектральных линий.

Problems of probe diagnostics in radio frequency (RF) gas discharge plasma have been considered focusing on the ways and correctness criteria of their solution. It has been found out that presently the art of this diagnostics method has achieved high degree of reliability and sophistication. Objectivity of its results has been established through comparison of joint measurements of electron energy distribution functions using Langmuir probe and spectral line-ratio methods in the same RF plasma experiments. Mutual agreement of the obtained results had been assumed as an evidence for objectivity of both plasma diagnostics methods.

Ключевые фразы: плазма газового разряда постоянного тока, q-машина, ВЧ-разряд, ЗОНД ЛЕНГМЮРА, ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА
Автор (ы): Рябый Валентин Анатольевич (Ryabyy V. A.), Обухов Владимир Алексеевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.082.7. Использование электрических, магнитных и ядерных явлений
Для цитирования:
РЯБЫЙ В. А., ОБУХОВ В. А. О ДОСТОВЕРНОСТИ ЗОНДОВОЙ ДИАГНОСТИКИ ВЧ-ПЛАЗМЫ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2012. №5
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.