Статья: Оптические свойства пленок Ta2O5 в коротковолновой области спектра (2012)

Читать онлайн

Исследовались пленки Ta2O5, полученные магнетронным распылением Ta-мишени. Оптические параметры пленок определялись из диэлектрической функции, соответствующей модели Друде—Лорентца. Параметры модели вычислялись по результатам измерений коэффициента пропускания. В диапазоне длин волн λ = 0,275—0,5 мкм показатели преломления и поглощения пленок изменяются в пределах 2,49—2,14 и (9,0—0,1)⋅10-2, соответственно. Установлено, что скорость роста пленок зависит от знака потенциала смещения и характера тока питания магнетрона. Ширина запрещенной зоны пленкообразующего материала лежит в пределах 4,02—4,13 эВ.

Optical parameters of the Ta2O5 films are determined by Drude—Lorentz model on the results of transmission coefficient measurements.

Ключевые фразы: магнетронное распыление, оптические свойства, пленки ta2o5, дисперсионная модель друде—лорентца
Автор (ы): Вольпян Олег Дмитриевич (Volpyan O. D.), Яковлев Петр Петрович, Обод Юрий Александрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
53.082.53. на использовании отражения, преломления и поглощения света
544.023.2. Межфазные слои и пленки. Поверхностные (на подложке) пленки. Свободные (без подложки) пленки
Для цитирования:
ВОЛЬПЯН О. Д., ЯКОВЛЕВ П. П., ОБОД Ю. А. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК TA2O5 В КОРОТКОВОЛНОВОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2012. №4
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.