ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПРОТОКОЛОВ SECS/GEM В РАСПРЕДЕЛЁННЫХ КЛАСТЕРНЫХ СИСТЕМАХ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРОИЗВОДСТВА (2024)

Рассмотрены протоколы автоматизации SECS/GEM международной ассоциации SEMI для интеграции полупроводникового оборудования в общую систему автоматизированного производства и способ сопряжения технологического оборудования разных производителей путём стандартизации процедур обмена сообщениями с использованием протоколов SECS/GEM. Описана коммуникация между интегрированным кластерным оборудованием и центральным компьютером предприятия. Показаны кодирование и упаковка сообщений в SECS-II и HSMS.

Тип: Статья
Автор (ы): Щагин Анатолий Васильевич, Свиридова Елена Анатольевна, Быстров Д. Д.
Ключевые фразы: АВТОМАТИЗАЦИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ, ИНТЕГРАЦИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ, SECS/GEM, SEMI, КЛАСТЕРНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
681.518.5. Системы автоматического контроля и технической диагностики
eLIBRARY ID
68005700
Текстовый фрагмент статьи