Статья: ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПРОТОКОЛОВ SECS/GEM В РАСПРЕДЕЛЁННЫХ КЛАСТЕРНЫХ СИСТЕМАХ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРОИЗВОДСТВА (2024)

Читать онлайн

Рассмотрены протоколы автоматизации SECS/GEM международной ассоциации SEMI для интеграции полупроводникового оборудования в общую систему автоматизированного производства и способ сопряжения технологического оборудования разных производителей путём стандартизации процедур обмена сообщениями с использованием протоколов SECS/GEM. Описана коммуникация между интегрированным кластерным оборудованием и центральным компьютером предприятия. Показаны кодирование и упаковка сообщений в SECS-II и HSMS.

Ключевые фразы: АВТОМАТИЗАЦИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ, ИНТЕГРАЦИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ, SECS/GEM, SEMI, КЛАСТЕРНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Автор (ы): Щагин Анатолий Васильевич (SCHagin A. V.), Свиридова Елена Анатольевна (Sviridova E. A.), Быстров Д. Д. (Bystrov D. D.)
Журнал: ЭЛЕКТРОННЫЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
681.518.5. Системы автоматического контроля и технической диагностики
eLIBRARY ID
68005700
Для цитирования:
ЩАГИН А. В., СВИРИДОВА Е. А., БЫСТРОВ Д. Д. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПРОТОКОЛОВ SECS/GEM В РАСПРЕДЕЛЁННЫХ КЛАСТЕРНЫХ СИСТЕМАХ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРОИЗВОДСТВА // ЭЛЕКТРОННЫЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ. 2024. № 1 (40)
Текстовый фрагмент статьи