Статья: Капсуляция фоторезистивных структур на основе коллоидных квантовых точек HgTe методом атомно-слоевого осаждения (2026)

Читать онлайн

Коллоидные квантовые точки (ККТ) являются перспективным материалом для создания недорогих фотодетекторов инфракрасного диапазона, работающих при комнатной температуре. Однако формирование фоточувствительных слоев на их основе сопровождается образованием поверхностных дефектов и окислением, что приводит к деградации рабочих характеристик устройств. В данной работе для эффективной капсуляции слоя ККТ на основе теллурида ртути HgTe впервые предложено использовать метод атомно-слоевого осаждения для нанесения тонких пленок оксида гафния HfO2. Целесообразность нанесения капсулирующего слоя HfO2 подтверждена исследованиями фотоэлектрических характеристик изготовленных фоторезисторов. Показано, что защитное покрытие способствует снижению величины темнового тока при сохранении величины фотоотклика фоторезистора при облучении лазерным диодом с длиной волны 1550 нм. Полученные результаты демонстрируют потенциал метода АСО для создания стабильных и высокопроизводительных фотодетекторов ИК-диапазона нового поколения.

Colloidal quantum dots (CQDs) are a promising material for low-cost infrared photodetectors operating at room temperature. However, the formation of CQD based photosensitive layers is accompanied by the formation of surface defects and oxidation, which leads to the degradation of the devices’ performance. In this study, we propose using atomic layer deposition (ALD) to efficiently encapsulate a mercury telluride (HgTe) CQD layer by depositing thin films of hafnium oxide (HfO2) for the first time. The feasibility of applying the HfO2 encapsulating layer is confirmed by studying the photoelectric characteristics of the manufactured photoresistors. It is shown that the protective coating reduce the dark current while maintaining the photoresistor’s photoresponse under 1550 nm laser irradiation. The obtained results demonstrate the potential of ALD for creating stable and high-performance next-generation IR photodetectors.

Ключевые фразы: фотосенсор, средневолновый ик-диапазон, коллоидные квантовые точки, ККТ, атомно-слоевое осаждение, капсуляция, ОКСИД ГАФНИЯ
Автор (ы): Медведев Александр Геннадьевич, Кузьмичёв Дмитрий Сергеевич, Сапцова Ольга Александровна, Королева Таисия Викторовна, Хакимов Карим Тимурович, Яковлев Виктор Олегович, Пономаренко Владимир Павлович, Попов Виктор
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383. Фотоэлектроника
Для цитирования:
МЕДВЕДЕВ А. Г., КУЗЬМИЧЁВ Д. С., САПЦОВА О. А., КОРОЛЕВА Т. В., ХАКИМОВ К. Т., ЯКОВЛЕВ В. О., ПОНОМАРЕНКО В., ПОПОВ В. КАПСУЛЯЦИЯ ФОТОРЕЗИСТИВНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КОЛЛОИДНЫХ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК HGTE МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2026. №1
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)