Статья: Влияние мощности источника плазмы и состава газовой смеси на параметры сформированных структур на карбиде кремния (2026)

Читать онлайн

Изучались процессы формирования структур на поверхности карбида кремния и вли-яние параметров процесса плазмохимической обработки на геометрические парамет-ры сформированных структур. Экспериментально установлены корреляции между мощностью индуктивно-связанной плазмы (ИСП), составом газовой смеси (O₂/SF₆/Ar) и ключевыми параметрами: высотой структур, шероховатостью поверхности и уг-лом наклона стенок. Показано, что увеличение мощности ИСП и концентрации SF₆ в газовой смеси приводит к росту скорости травления. В частности, при мощности ИСП 300 Вт и соотношении газов O₂/SF₆/Ar (81/7/11) достигнуты: высота структуры 983,62  37,64 нм, шероховатость поверхности 14,13  2,15 нм и угол наклона 74,63  1,87.

This work investigates the processes of structure formation on silicon carbide (SiC) surfaces. The influence of plasma-chemical processing parameters on the geometric characteristics of fabricated structures was examined. Correlations were established between the power of the inductively coupled plasma (ICP) source, the composition of the gas mixture (O₂/SF₆/Ar), and key structural parameters: height, surface roughness, and wall inclination angle. It was demonstrated that increasing ICP power and SF₆ concentration in the gas mixture enhances the etching rate. Processing conditions correspond to extremes in surface roughness and spe-cific wall inclination angles were identified. Notably, under conditions of 300 W ICP power and a gas ratio of O₂/SF₆/Ar = 81/7/11, the following results were achieved: structure height of 983.62  37.64 nm, surface roughness of 14.13  2.15 nm, and inclination angle of 74.63  1.87.

Ключевые фразы: карбид кремния, плазмохимическое травление, фторидная плазма, формирование структур, микроэлектроника
Автор (ы): Климин Виктор Сергеевич, Лысенко Игорь Евгеньевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
53. Физика
Для цитирования:
КЛИМИН В. С., ЛЫСЕНКО И. Е. ВЛИЯНИЕ МОЩНОСТИ ИСТОЧНИКА ПЛАЗМЫ И СОСТАВА ГАЗОВОЙ СМЕСИ НА ПАРАМЕТРЫ СФОРМИРОВАННЫХ СТРУКТУР НА КАРБИДЕ КРЕМНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2026. №1
Текстовый фрагмент статьи