Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «плазмохимическое травление».
Статьи: 5
Журнал:
Автор(ы):
Климин В. С., Лысенко И. Е.
Журнал:
Автор(ы):
Костюк Б. А., Варавин В. С., Парм И. О., Ремесник В. Г., Сидоров Г. Ю.
Журнал:
Автор(ы):
Трухачева Н. С., Седнев М. В., Трухачев А. В., Ляликов А. В.
04.Применение фторидной плазмы для формирования наноразмерных структур на поверхности кремния (2022)
Журнал:
Автор(ы):
Климин В. С., Саенко А. В., Кесслер И. О., Морозова Ю. В., Вакулов З. Е., Агеев О. А.
Журнал:
Автор(ы):
Генцелев А. Н., Баев С. Г.
SCI Библиотека: 5
Автор(ы):
Климин В. С., Лысенко И. Е.
Автор(ы):
Костюк Б. А., Варавин В. С., Парм И. О., Ремесник В. Г., Сидоров Г. Ю.
Автор(ы):
Трухачева Н. С., Седнев М. В., Трухачев А. В., Ляликов А. В.
Автор(ы):
Климин В. С., Саенко А. В., Кесслер И. О., Морозова Ю. В., Вакулов З. Е., Агеев О. А.
Автор(ы):
Генцелев А. Н., Баев С. Г.
Функция копирования доступна только авторизованным
пользователям. Зарегистрируйтесь или войдите в свой
аккаунт.