Статья: Влияние режима магнетронного распыления и состава мишени на структуру графито-медных пленок (2016)

Читать онлайн

Проблема получения мелкодисперсных пленок соединений металлов и углерода, в особенности, получение таких тонкопленочных структур, как соединения меди, серебра или золота с углеродом и применение их для различных областей техники, давно обсуждается в литературе. Интерес к этой теме сейчас достаточно высок, так как известно, что уменьшение размера кристаллитов ниже определённой величины приводит к потере некоторых объемных свойств вещества или к значительному их изменению. Это происходит при уменьшении размеров зерен до нескольких десятков нанометров. Изучению свойств мелкодисперсных структур в настоящее время посвящено много работ. В нашей работе получены экспериментальные данные по распылению составной графито-медной мишени при различных режимах работы магнетрона. В частности, получены графито-медные наноструктуры в виде монослойных покрытий при разном содержании меди в плёнке. Представлена схема экспериментальной установки с описанием особенностей ее применения для управляемого формирования тонкопленочных покрытий. Приведены значения параметров магнетронного распыления и размеров мишени, необходимых для получения мелкодисперсных покрытий и эффективного напыления. В ходе проведенных экспериментов нами были отмечены некоторые особенности процесса напыления таких плёнок. Эти особенности заключаются в том, что процесс формирования плёнок, состоящих из монослоя мелкодисперсных элементов, часто нестабилен и при одинаковых условиях напыления иногда приводит к образованию сплошной графитовой пленки. В настоящей работе сделана попытка найти устойчивые режимы получения таких покрытий.

The problem of metal-сarbon nanocrystalline films preparation in particular of copper, silver and gold carbon thin film structures and their application for various areas is discussed for a long time in the literature. Interest to this theme is now high enough as it is known that with reduction of the size crystallites below certain size leads to loss of some volume properties of substance or their considerable change. It occurs at reduction of the sizes of grains to several tens nanometers nanocrystalline structures, many works now are devoted to studying of such structures properties. In our work, experimental data on dispersion of a compound graphite-copper target are received at various operating magnetron modes and reception graphite-copper nanostructures in the form of a monolayer covering at a different copper maintenance in a film. The scheme of experimental setup with the description of features of its application for operated formation of thin film coverings is presented. Values of parameters magnetron sputtering and the sizes of a target necessary for reception nanocrystalline coverings and an effective deposition are resulted. During the experiments we had been noted some features of such films obtaining process. These features consist that process of films formation consisting of a monolayer nanocrystalline elements is often astable and under identical conditions of sputtering sometimes leads to formation of a continuous graphite film. The present work is the attempt to find steady modes of such structure obtaining.

Ключевые фразы: поверхность, НАНОСТРУКТУРЫ, углерод, магнетронное распыление, атомно-силовая микроскопия
Автор (ы): Валянский Сергей Иванович, Виноградов Сергей Владимирович, Кононов Михаил Анатольевич, Кононов Владимир Михайлович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
539.231. механическим путем, например напылением
eLIBRARY ID
26505449
Для цитирования:
ВАЛЯНСКИЙ С. И., ВИНОГРАДОВ С. В., КОНОНОВ М. А., КОНОНОВ В. М. ВЛИЯНИЕ РЕЖИМА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И СОСТАВА МИШЕНИ НА СТРУКТУРУ ГРАФИТО-МЕДНЫХ ПЛЕНОК // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2016. ТОМ 4, №3
Текстовый фрагмент статьи