Статья: Образование поверхностных медно-углеродных микроструктур при распылении составной графитово-медной мишени магнетронным способом (2016)

Читать онлайн

В данной работе представлены результаты применения магнетронной распылительной системы. Методом магнетронного распыления составной графитово-медной мишени получены поверхностные медно-углеродные структуры и выявлены условия их образования. Приведены характерные изображения структур на подложке, полученные с помощью атомно-силовой микроскопии. Найдены режимы распыления графитово-медной мишени. Показано, что на эффективность процесса распыления, кроме конструкции магнетрона и мишени, во многом влияют условия эксперимента. В работе экспериментально подобрана плотность потока распылённых атомов на подложку, температура мишени и подложки, давление аргона. Найдено, что подобные структуры не образуются без промежуточного металлического слоя. В нашем случае это была пленка меди. В общем виде учесть влияние всех этих параметров на полученный результат для расчета процесса распыления составной мишени не представляется возможным. Поэтому трудно оценить возможность получения подобных структур с другими металлами.

The compound carbon-copper target surface structures are received by means of vacuum magnetron sputtering. Formation conditions are revealed in detail. Characteristic atomic force microscopy images of the received microstructures on a substrate are resulted.

Ключевые фразы: поверхность, микроструктуры, углерод, вакуумное магнетронное распыление, атомно-силовая микроскопия
Автор (ы): Валянский Сергей Иванович, Виноградов Сергей Владимирович, Кононов Михаил Анатольевич, Кононов Владимир Михайлович, Растопов Станислав
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.8. Применение оптики в целом
eLIBRARY ID
25505460
Для цитирования:
ВАЛЯНСКИЙ С. И., ВИНОГРАДОВ С. В., КОНОНОВ М. А., КОНОНОВ В. М., РАСТОПОВ С. ОБРАЗОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ МЕДНО-УГЛЕРОДНЫХ МИКРОСТРУКТУР ПРИ РАСПЫЛЕНИИ СОСТАВНОЙ ГРАФИТОВО-МЕДНОЙ МИШЕНИ МАГНЕТРОННЫМ СПОСОБОМ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №1
Текстовый фрагмент статьи