Статья: Сравнительные характеристики пучковой и индуктивно-связанной ВЧ-плазмы, генерируемой в диэлектрической полости в форвакуумном диапазоне давлений (обзор) (2017)

Читать онлайн

В обзоре приводится сравнительный анализ результатов экспериментов по исследованию параметров и характеристик плазмы, создаваемой различными способами в диэлектрическом сосуде: при инжекции непрерывного электронного пучка током 10–40 мА и энергией 2–8 кэВ в цилиндрическую кварцевую полость, а также безэлектродным индуктивным ВЧразрядом, генерируемым внешней квадрупольной антенной, причем в форвакуумном диапазоне давлений (1–15 Па) рабочих газов (Ar, N2). Приводятся сравнения продольных и радиальных профилей концентрации, а также величин температуры электронов и потенциала, характерных для упомянутых видов плазмы. Показано, что оба способа позволяют осуществить генерацию однородной плазмы в диэлектрической полости с концентрацией 109–1011 см-3 и температурой электронов 2–4 эВ.

The review contains the comparative analysis of experiments on research of parameters and characteristics of plasma generated in dielectric volume by two different methods – by injection of continuous electron beam with current of 10–40 mA and energy of 2–8 keV, in cylindrical quartz hollow, and by traditional method using electrodeless inductively-coupled RF discharge driven by quadrupole antenna. These two kinds of plasmas both were produced in fore-vacuum pressure range (1–15 Pa) of working gases (Ar, N2). We compare the axial and radial profiles of plasma density, and values of parameters (electron temperature and potential) of mentioned plasmas. It is shown that both methods allow one to produce uniform plasma inside the dielectric volume, with density of 109–1011 cm-3 and electron temperature of 2–4 eV.

Ключевые фразы: пучковая плазма, индуктивно-связанная вч-плазма, диэлектрическая полость, форвакуумный плазменный источник электронов, форвакуумная область давлений
Автор (ы): Золотухин Денис Борисович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.533.9. Действие пучков электронов
537.563. Способы ионизации газов
eLIBRARY ID
29045735
Для цитирования:
ЗОЛОТУХИН Д. Б. СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПУЧКОВОЙ И ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ВЧ-ПЛАЗМЫ, ГЕНЕРИРУЕМОЙ В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОЛОСТИ В ФОРВАКУУМНОМ ДИАПАЗОНЕ ДАВЛЕНИЙ (ОБЗОР) // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2017. ТОМ 5, №2
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (1)