Найти:

Ключевая фраза: индуктивно-связанная вч-плазма

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «индуктивно-связанная вч-плазма».

Статьи: 1

01.Сравнительные характеристики пучковой и индуктивно-связанной ВЧ-плазмы, генерируемой в диэлектрической полости в форвакуумном диапазоне давлений (обзор) (2017)

Сохранить в закладках

Журнал:

УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Автор(ы):

Золотухин Д. Б.