ISSN 0579-9392
Язык: ru

ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

УЧЕТ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ УРОВНЯ ШУМА ПО ДЛИНЕ ВОЛНЫ ПРИ ШИРОКОПОЛОСНОМ КОНТРОЛЕ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ (2024)

В работе приведены численные результаты симуляций процесса напыления сложного оптического покрытия с использованием широкополосного контроля этого процесса в случае, когда уровень шума в измеряемом коэффициенте пропускания имеет неравномерное распределение по длине волны. Исследовано влияние на точность контроля данных на краях измеряемого диапазона длин волн, где ошибка в коэффициенте пропускания максимальна. Показано, что при удалении части данных на краях диапазона коэффициент самокомпенсации ошибок процесса напыления почти не изменяется, в то время как средняя норма вектора ошибок толщин слоев существенно снижается. Тем самым впервые показано, что учет эффекта самокомпенсации ошибок при широкополосном контроле открывает возможность обоснованного выбора оптимального для практики спектрального диапазона оптического контроля.

Тип: Статья
Автор (ы): Ягола Анатолий Григорьевич, Шарапова Светлана Анатольевна, Шаров Александр Николаевич, ТИХОНРАВОВ АЛЕКСАНДР ВЛАДИМИРОВИЧ
Ключевые фразы: ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, НАПЫЛЕНИЕ ПОКРЫТИЙ, ШИРОКОПОЛОСНЫЙ КОНТРОЛЬ, ДИАПАЗОН ИЗМЕРЕНИЙ, КОРРЕЛЯЦИЯ ОШИБОК, САМОКОМПЕНСАЦИЯ ОШИБОК

Идентификаторы и классификаторы

УДК
519.6. Вычислительная математика, численный анализ и программирование (машинная математика)
Текстовый фрагмент статьи