ISSN 0579-9392
Язык: ru

ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

МОДЕЛЬ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ОБЛУЧЕНИИ ГАЗОВЫМИ КЛАСТЕРНЫМИ ИОНАМИ (2024)

Предложена модель эволюции нанорельефа поверхности под действием облучения газовыми кластерными ионами. Модель основана на рассмотрении индивидуальных столкновений кластеров с поверхностью. Определяется количество вещества, распыляемого из области столкновения, и эффективность его переосаждения на другие элементы поверхности. Показана работоспособность модели при сравнении с экспериментальными данными. Исследованы этапы сглаживания модельного гармонического рельефа. Предложена новая мера эффективности сглаживания поверхности.

Тип: Статья
Автор (ы): Иешкин Алексей Евгеньевич, Бессмертный Данила Романович
Ключевые фразы: АЗОВЫЕ КЛАСТЕРНЫЕ ИОНЫ, НАНОРЕЛЬЕФ, ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
539.211. Поверхность. Структура поверхности. Поверхности излома. Гладкий плоский излом. Ячеистый, раковистый излом. Платстинчатый излом. Шиферный (слоистый) излом. Волокнистый излом (например, дерева)
538.971. Физика поверхностей и границ раздела (включая эмиссию и столкновение)
Текстовый фрагмент статьи