ISSN 0579-9392
Язык: ru

ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

ДИНАМИКА ПЛАЗМЫ ДВУХЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА В СМЕСИ AR/XE (2024)

Исследована пространственно-временная динамика плазмы симметричного двухчастотного 81 МГц/1.76 МГц емкостного разряда под действием поля низкой частоты 1.76 МГц. С помощью метода фазово-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии получена динамика интенсивности излучения аргона и ксенона в плазме. Выполнены измерения функции распределения электронов по энергии в центре разряда с помощью зонда Ленгмюра и измерения плотности электронов с помощью СВЧ-зонда. Основным результатом является динамика отношений интенсивности выделенных линий аргона и ксенона в зависимости от разных условий: при давлениях 40, 200 и 400 мТорр, амплитуде напряжения НЧ 100, 200 и 400 В, вложенной мощности на 81 МГц 3 Вт и 15 Вт. Исследована динамика высокоэнергичных электронов на основе двухтемпературной аппроксимации функции распределения электронов по энергии.


Тип: Статья
Автор (ы): БОГДАНОВА МАРИЯ АЛЕКСАНДРОВНА, ВОЛОШИН ДМИТРИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, ГЛОТОВ АНТОН ВАЛЕРЬЕВИЧ, ЛОПАЕВ ДМИТРИЙ ВИКТОРОВИЧ, СЫСОЕВ НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ, ШИБАНОВ ДАНИИЛ РОМАНОВИЧ
Ключевые фразы: ЕМКОСТНЫЙ РАЗРЯД, СПЕКТРОСКОПИЯ, ЗОНД ЛЕНГМЮРА, СВЧ-ЗОНД

Идентификаторы и классификаторы

УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
Текстовый фрагмент статьи