Статья: ДИНАМИКА ПЛАЗМЫ ДВУХЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА В СМЕСИ AR/XE (2024)

Читать онлайн

Исследована пространственно-временная динамика плазмы симметричного двухчастотного 81 МГц/1.76 МГц емкостного разряда под действием поля низкой частоты 1.76 МГц. С помощью метода фазово-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии получена динамика интенсивности излучения аргона и ксенона в плазме. Выполнены измерения функции распределения электронов по энергии в центре разряда с помощью зонда Ленгмюра и измерения плотности электронов с помощью СВЧ-зонда. Основным результатом является динамика отношений интенсивности выделенных линий аргона и ксенона в зависимости от разных условий: при давлениях 40, 200 и 400 мТорр, амплитуде напряжения НЧ 100, 200 и 400 В, вложенной мощности на 81 МГц 3 Вт и 15 Вт. Исследована динамика высокоэнергичных электронов на основе двухтемпературной аппроксимации функции распределения электронов по энергии.


Ключевые фразы: плазма, ЕМКОСТНЫЙ РАЗРЯД, СПЕКТРОСКОПИЯ, ЗОНД ЛЕНГМЮРА, СВЧ-ЗОНД
Автор (ы): БОГДАНОВА МАРИЯ АЛЕКСАНДРОВНА (BOGDANOVA M. A.), ВОЛОШИН ДМИТРИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ (VOLOSHIN D. G.), ГЛОТОВ АНТОН ВАЛЕРЬЕВИЧ (GLOTOV A. V.), ЛОПАЕВ ДМИТРИЙ ВИКТОРОВИЧ (LOPAEV D. V.), СЫСОЕВ НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ (SYSOEV N. N.), ШИБАНОВ ДАНИИЛ РОМАНОВИЧ (SHIBANOV D. R.)
Журнал: ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
Для цитирования:
БОГДАНОВА М. А., ВОЛОШИН Д. Г., ГЛОТОВ А. В., ЛОПАЕВ Д. В., СЫСОЕВ Н. Н., ШИБАНОВ Д. Р. ДИНАМИКА ПЛАЗМЫ ДВУХЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА В СМЕСИ AR/XE // ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ. 2024. № 1
Текстовый фрагмент статьи