Статья: ПРОВОДИМОСТЬ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО НАПЫЛЕНИЯ (2024)

Читать онлайн

Пленки оксида гафния HfOx толщиной около 40 нм получены методом электронно-лучевого напыления при различных значениях потока кислорода в камере. Изучены электрофизические свойства пленок на воздухе и в вакууме. Показано, что температурные зависимости проводимости пленок, измеренные в вакууме в диапазоне температур от 20 до 180◦ C, имеют активационный характер с энергией активации 0.82±0.02 эВ. Сделано предположение, что в полученных пленках перенос заряда определяется активацией электронов в зону проводимости с донорного уровня, связанного с кислородными вакансиями. Обнаружено, что проводимость пленок на воздухе сильно изменяется при варьировании потока кислорода, в то время как в вакууме проводимость практически не зависит от потока кислорода. Это свидетельствует о существенных отличиях в свойствах поверхности пленок, полученных при разных потоках кислорода в камере в процессе напыления.

Ключевые фразы: ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ, тонкие плёнки, ПРОВОДИМОСТЬ, ОКСИД ГАФНИЯ, МЕМРИСТОРЫ, РЕЗИСТИВНОЕ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕ, НЕЙРОМОРФНЫЕ СЕТИ
Автор (ы): Кучумов Иван Дмитриевич (Kuchumov I. D.), Мартышов Михаил Николаевич (Martyshov M. N.), Жигунов Денис Михайлович (ZHigunov D. M.), Ильин Александр Сергееви (Ilin A. S.), Павликов Александр Владимирович (Pavlikov A. V.), ФОРШ ПАВЕЛ АНАТОЛЬЕВИЧ (FORSH P. A.), КАШКАРОВ ПАВЕЛ КОНСТАНТИНОВИЧ (KASHKAROV P. K.)
Журнал: ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.311.1. Природа электропроводности. Теория движения электронов в проводниках
Для цитирования:
КУЧУМОВ И. Д., МАРТЫШОВ М. Н., ЖИГУНОВ Д. М., ИЛЬИН А. С., ПАВЛИКОВ А. В., ФОРШ П. А., КАШКАРОВ П. К. ПРОВОДИМОСТЬ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО НАПЫЛЕНИЯ // ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ. 2024. № 1
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)