ISSN 0579-9392
Язык: ru

ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

ПРОВОДИМОСТЬ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО НАПЫЛЕНИЯ (2024)

Пленки оксида гафния HfOx толщиной около 40 нм получены методом электронно-лучевого напыления при различных значениях потока кислорода в камере. Изучены электрофизические свойства пленок на воздухе и в вакууме. Показано, что температурные зависимости проводимости пленок, измеренные в вакууме в диапазоне температур от 20 до 180◦ C, имеют активационный характер с энергией активации 0.82±0.02 эВ. Сделано предположение, что в полученных пленках перенос заряда определяется активацией электронов в зону проводимости с донорного уровня, связанного с кислородными вакансиями. Обнаружено, что проводимость пленок на воздухе сильно изменяется при варьировании потока кислорода, в то время как в вакууме проводимость практически не зависит от потока кислорода. Это свидетельствует о существенных отличиях в свойствах поверхности пленок, полученных при разных потоках кислорода в камере в процессе напыления.

Тип: Статья
Автор (ы): Кучумов Иван Дмитриевич, Мартышов Михаил Николаевич, Жигунов Денис Михайлович, Ильин Александр Сергееви, Павликов Александр Владимирович, ФОРШ ПАВЕЛ АНАТОЛЬЕВИЧ, КАШКАРОВ ПАВЕЛ КОНСТАНТИНОВИЧ
Ключевые фразы: ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ, ПРОВОДИМОСТЬ, ОКСИД ГАФНИЯ, МЕМРИСТОРЫ, РЕЗИСТИВНОЕ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕ, НЕЙРОМОРФНЫЕ СЕТИ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.311.1. Природа электропроводности. Теория движения электронов в проводниках
Текстовый фрагмент статьи