ISSN 0579-9392
Язык: ru

Статья: ПРОВОДИМОСТЬ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО НАПЫЛЕНИЯ (2024)

Читать онлайн

Пленки оксида гафния HfOx толщиной около 40 нм получены методом электронно-лучевого напыления при различных значениях потока кислорода в камере. Изучены электрофизические свойства пленок на воздухе и в вакууме. Показано, что температурные зависимости проводимости пленок, измеренные в вакууме в диапазоне температур от 20 до 180◦ C, имеют активационный характер с энергией активации 0.82±0.02 эВ. Сделано предположение, что в полученных пленках перенос заряда определяется активацией электронов в зону проводимости с донорного уровня, связанного с кислородными вакансиями. Обнаружено, что проводимость пленок на воздухе сильно изменяется при варьировании потока кислорода, в то время как в вакууме проводимость практически не зависит от потока кислорода. Это свидетельствует о существенных отличиях в свойствах поверхности пленок, полученных при разных потоках кислорода в камере в процессе напыления.

Ключевые фразы: ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ, тонкие плёнки, ПРОВОДИМОСТЬ, ОКСИД ГАФНИЯ, МЕМРИСТОРЫ, РЕЗИСТИВНОЕ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕ, НЕЙРОМОРФНЫЕ СЕТИ
Автор (ы): Кучумов Иван Дмитриевич, Мартышов Михаил Николаевич, Жигунов Денис Михайлович, Ильин Александр Сергееви, Павликов Александр Владимирович, ФОРШ ПАВЕЛ АНАТОЛЬЕВИЧ, КАШКАРОВ ПАВЕЛ КОНСТАНТИНОВИЧ
Журнал: ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
537.311.1. Природа электропроводности. Теория движения электронов в проводниках
Для цитирования:
КУЧУМОВ И. Д., МАРТЫШОВ М. Н., ЖИГУНОВ Д. М., ИЛЬИН А. С., ПАВЛИКОВ А. В., ФОРШ П. А., КАШКАРОВ П. К. ПРОВОДИМОСТЬ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО НАПЫЛЕНИЯ // ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ. 2024. № 1
Текстовый фрагмент статьи