Проведена разработка методики контроля распределения концентрации носителей заряда по профилю многослойных гетероэпитаксиальных структур (ГЭС) с квантоворазмерной активной областью на основе гетеропары AlGaAs/GaAs, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии, средствами электрохимического вольт-фарадного профилирования (ECV). Разработана расчетная модель области пространственного заряда, формируемой на границе электролит–полупроводник. Проведен анализ ECV-профилей образцов гетеро-эпитаксиальных структур, выращенных на подложках GaAs <100>. Проведен расчет граничных значений глубины формируемой области пространственного заряда для различных концентраций носителей заряда в измеряемых слоях. Сделано заключение об ограниченности метода для контроля распределения концентрации носителей в квантоворазмерной области гетероэпитаксиальных структур.
Parameters of photosensitive semiconductor structures are the important factor in the technology of developing focal-plane arrays (FPAs) for promising optoelectronic dual-use systems. The photoelec-tric characteristics, in particular the distribution of the charge carrier density along the thickness of the heteroepitaxial structures, have a significant effect on the characteristics of the whole photode-tector device, so we need to improve the characterization of the materials. Modern FPAs use com-plex multilayer structures for which the classical techniques for controlling the photoelectric char-acteristics of epitaxial layers are difficult. The classical theory of capacitance-voltage methods is limited by depth of profiling of free charge carrier concentration. The best alternative to traditional methods is the electrochemical capacitance-voltage (ECV) profiling, which allows to determine the concentration of carriers at a depth up to 50 microns. In this paper, results of ECV-investigations of the AlGaAs/GaAs heteroepitaxial structures with quantum wells are presented. Limitations of this method are also shown.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 35723995