Описаны результаты разработки и исследований монолитных интегральных схем (МИС) приемопередающих модулей (ППМ), изготовленных по HEMT-технологии на основе гетероструктур нитрида галлия на сапфировых подложках, предназначенных для работы в V-диапазоне. ППМ реализован как компактная монолитная схема системы-на-кристалле с технологией верхней металлизации со встроенными (интегрированными) антеннами. Измерения изготовленных образцов системы-на-кристалле продемонстрировали устойчивую работу при одновременных приеме и передаче в диапазоне 66,5–69 ГГц. Выходная мощность в передающем тракте составила не менее 10 дБм, диапазон перестройки гетеродина не менее 2 ГГц.
The design of a V-band Tx/Rx module single-chip monolithic microwave integrated circuit (MMIC) manufactured with GaN heterostructure HEMT technology with integrated antennas is presented in this paper. The measurements of manufactured system-on-chip showed at least 10 dBm output power in Tx channel and 2 GHz of local oscillator (LO) tuning range in 66–69 GHz band.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 35724004
Предложенная технология нитридных НЕМТтранзисторов на сапфировой подложке позволяет создавать систему-на-кристалле в виде СВЧ монолитной интегральной схемы в диапазоне частот до 69 ГГц, содержащей основные СВЧ-элементы приемопередающего тракта: генератор, управляемый напряжением, буферный усилитель, смеситель, малошумящий усилитель, интегрированные антенны. Размеры микросхемы со встроенными антеннами составляют 4,02,4 мм. Данная разработка является развитием СВЧ микросхем серии 5411, разработанных в ИСВЧПЭ РАН.
Изложены результаты оптимизации, направленные на расширение рабочей полосы частот микрополосковой антенны, состоящей из излучателя (монополя) с одной стороны диэлектрической подложки и земляного проводника с другой стороны.
Список литературы
1. Мальцев П. П., Бочаров Л. Ю. // Нано- и микросистемная техника. 2012. № 3. С. 2.
2. Леонтьев В. Л., Булярский С. В., Павлов А. А. // Нано- и микросистемная техника. 2016. № 10. С. 595.
3. Мальцев П. П., Федоров Ю. В., Галиев Г. Б., Бугаев А. С., Сеничкин А. П. // Нано- и микросистемная техника. 2010. № 11. С. 14.
4. Мальцев П. П., Матвеенко О. С., Гнатюк Д. Л., Лисицкий А. П., Фёдоров Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. 2011. № 11. С. 45.
5. Мальцев П. П., Матвеенко О. С., Гнатюк Д. Л., Лисицкий А. П., Фёдоров Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. 2011. № 10. С. 39.
6. Мальцев П. П., Матвеенко О. С., Гнатюк Д. Л., Лисицкий А. П., Фёдоров Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. 2011. № 9. С. 34.
7. Мальцев П. П., Матвеенко О. С., Гнатюк Д. Л., Лисицкий А. П., Фёдоров Ю. В., Бунегина С. Л., Крапухин Д. В. // Нано- и микросистемная техника. 2012. № 4. С. 45.
8. Мальцев П. П., Матвеенко О. С., Гнатюк Д. Л., Лисицкий А. П., Фёдоров Ю. В., Крапухин Д. В., Бунегина С. Л. // Нано- и микросистемная техника. 2012. № 10. С. 45.
9. Мальцев П. П., Матвеенко О. С., Гнатюк Д. Л., Лисицкий А. П., Фёдоров Ю. В., Крапухин Д. В., Бунегина С. Л. // Нано- и микросистемная техника. 2012. № 11. С. 46.
10. Мальцев П. П., Гнатюк Д. Л., Фёдоров Ю. В., Зуев А. В., Галиев Р. Р., Побойкина Н. В. // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 6. С. 29.
11. Мальцев П. П. // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 4. С. 40.
12. Фёдоров Ю. В., Мальцев П. П., Матвеенко О. С., Гнатюк Д. Л., Крапухин Д. В., Путинцев Б. Г., Павлов А. Ю., Зуев А. В. // Наноиндустрия. 2015. № 3. С. 44.
13. Мальцев П. П., Матвеенко О. С., Фёдоров Ю. В., Гнатюк Д. Л., Крапухин Д. В., Зуев А. В., Бунегина С. Л. // Нано- и микросистемная техника. 2014. № 9. С. 12.
14. Ваньков В. А., Землянников Н. С., Суханов В. С. // Нано- и микросистемная техника. 2014. № 6. С. 25.
15. Справочный лист комплекта монолитных интегральных схем на нитриде галлия для диапазона 57–64 ГГц.
Сайт ИСВЧПЭ РАН http://isvch.ru/wordpress/wp-content/ uploads/2016/03/list.pdf
16. Мальцев П. П., Фёдоров Ю. В., Гнатюк Д. Л., Матвеенко О. С., Зуев А. В. Интегральный антенный элемент со встроенным усилителем для диапазона 57–64 ГГц. Свидетельство о государственной регистрации № 2015630131 от 12.12.2015.
17. Крапухин Д. В. // Нано- и микросистемная техника. 2016. № 12. С. 759.
18. Крапухин Д. В., Мальцев П. П. // Российский технологический журнал. 2016. Т. 4. № 4. С. 42.
19. Muller Jan-Erik, Grave Thomas, Siweris Heinz J. // IEEE Journal of Solid-State Circuits. 1997. Vol. 32. No. 9. P. 1342.
20. Мальцев П. П., Фёдоров Ю. В., Крапухин Д. В., Матвеенко О. С., Путинцев Б. Г. // Нано- и микросистемная техника. 2016. № 10. С. 645.
21. Матвеенко О. С. // Нано- и микросистемная техника. 2017. № 9. С. 568.
22. Volakis J. L. Antenna engineering handbook – McGraw-Hill Education, 2007. P. 1872.
23. Бугаев А. С., Енюшкина Е. Н., Арутюнян С. С., Иванова Н. Е., Глинский И. А., Томош К. Н. / Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения» (INTERMATIC – 2015), 2016. С. 45–48.
24. Glinskii I. A., Zenchenko N. V. // Russian Microelectronics. 2015. Vol. 44. No. 4. P. 236.
25. Tomkins А., Aroca R. A., Yamamoto T., Nicolson S. T., Doi Y., Voinigescu S. P. / Custom Integrated Circuits Conference. CICC 2008. 2008.
26. Siligans A., Chaix F., Pelissier M., et al. / IEEE Radio Frequency Integrated Circuits Symposium. 2013. P. 297.
27. Yao T., Tchoketch-Kebir L., Yuryevich O., et al. / Microwave Symposium Digest., 2006. IEEE MTT-S International. 2006. P. 1493–1496.
28. Chien M. Ta., Byron Wicks, Bo Yang, Yuan Mo, et al. / Mobile and Wireless Communications: Network layer and circuit level design. 2010. P. 281–303.
29. Toshiya Mitomo, Yukako Tsutsumi, Hiroaki Hoshino, et al. // IEEE Journal of Solid-State Circuits. 2012. Vol. 47. No. 12. P. 3160.
30. Analog Devices, HMC6001LP711E, 60 GHz Rx with integrated antenna, Product Datasheet [Электронный реcурс]. – Режим доступа: http://www.analog.com/en/products/rf-microwave/integrated-transceivers-transmitters-receivers/microwave-mmwavetx-rx/hmc6001.html, свободный (дата обращения: 24.11.2016).
31. Путинцев Б. Г. // Нано- и микросистемная техника. 2017. № 12. С. 729.
1. P. P. Maltsev and L. Yu. Bocharov, Nano- and Microsystem Technology, No. 3, 2 (2012).
2. V. L. Leontiev, S. V. Bulyarsky, and A. A. Pavlov, Nano- and Microsystem Technology, No. 10, 595 (2016).
3. P. P. Maltsev, Yu. V. Fedorov, G. B. Galiev, A. S. Bugaev, and A. P. Senichkin, Nano- and Microsystem Technology, No. 11, 14 (2010).
4. P. P. Maltsev, O. S. Matveenko, D. L. Gnatyuk, A. P. Lisitskiy, and Yu. V. Fedorov, Nano- and Microsystem Technology, No. 11, 45 (2011).
5. P. P. Maltsev, O. S. Matveenko, D. L. Gnatyuk, A. P. Lisitskiy, and Yu. V. Fedorov, Nano- and Microsystem Technology, No. 9, 34 (2011).
6. P. P. Maltsev, O. S. Matveenko, D. L. Gnatyuk, A. P. Lisitskiy, and Yu. V. Fedorov, Nano- and Microsystem Technology, No. 10, 39 (2011).
7. P. P. Maltsev, O. S. Matveenko, D. L. Gnatyuk, and A. P. Lisitskiy, Nano- and Microsystem Technology, No. 4, 45 (2012).
8. P. P. Maltsev, O. S. Matveenko, D. L. Gnatyuk, A. P. Lisitskiy, Yu. V. Fedorov, D. V. Krapukhin, and S. L. Bunegina, Nano- and Microsystem Technology, No. 10, 45 (2012).
9. P. P. Maltsev, O. S. Matveenko, D. L. Gnatyuk, A. P. Lisitskiy, Yu. V. Fedorov, D. V. Krapukhin, and S. L. Bunegina, Nano- and Microsystem Technology, No. 11, 46 (2012).
10. P. P. Maltsev, D. L. Gnatyuk, Yu. V. Fedorov, A. V. Zuev, R. R. Galiev, and N. V. Poboykina, Nano- and Microsystem Technology, No. 6, 29 (2013).
11. P. P. Maltsev, Nano- and Microsystem Technology, No. 4. 40 (2013).
12. Yu. Fedorov, P. Maltsev, O. Matveenko, D. Gnatyuk, D. Krapuhin, B. Putintsev, A. Pavlov, and A. Zuev, Nanoindustry, No. 3, 44 (2015).
13. P. P. Maltsev, O. S. Matveenko, Yu. V. Fedorov, D. L. Gnatyuk, D. V. Krapukhin, A. V. Zuev, and S. L. Bunegina, Nanoand Microsystem Technology, No. 9, 12 (2014).
14. V. A. Vankov, N. S. Zemlyannikov, and A. V. Sukhanov, Nano- and Microsystem Technology, No. 6, 25 (2014).
15. Set of GaN monolithic integrated circuits for 57-64 GHz. Datasheet. Site IUHFSE RAS http://isvch.ru/wordpress/wpcontent/ uploads/2016/03/list.pdf
16. P. P. Maltsev, Yu. V. Fedorov, D. L. Gnatjuk, O. S. Matveenko, and A. V. Zuev, Integral antenna element with built-in amplifier for the 57-64 GHz band. Certificate of state registration of topology. № 2015630131 12.12.2015 [in Russian].
17. D. V. Krapuchin, Nano- and Microsystem Technology, No. 12, 759 (2016).
18. D. V. Krapukhin and P. P. Maltsev, Russian technological journal. 4 (4), 42 (2016).
19. Jan-Erik Muller, Thomas Grave, and Heinz J. Siweris, IEEE Journal of solid-state circuits. 32 (9), 1342 (September, 1997).
20. P. P. Maltsev, Yu. V. Fedorov, D. L. Gnatyuk, O. S. Matveenko, B. G. Putintsev, and A. V. Zuev, Nano- and Microsystem Technology, No. 10, 645 (2016).
21. O. S. Matveenko, Nano- and Microsystem Technology, No. 9, 568 (2017).
22. J. L. Volakis, Antenna engineering handbook – McGraw-Hill Education. 2007.
23. A. S. Bugaev, E. N. Enjushkina, S. S. Arutjunjan, N. E. Ivanova, I. A. Glinskii, and K. N. Tomosh, Development of technology for the formation of a common ground on the active surface of a monolithic power amplifier integrated circuit on nitride heterostructures (INTERMATIC – 2016, 2016). P. 45–48.
24. I. A. Glinskii and N. V. Zenchenko, Russian Microelectronics 44 (4), 236 (2015).
25. A. Tomkins, R. A. Aroca, T. Yamamoto, S. T. Nicolson, Y. Doi, and S. P. Voinigescu, A Zero-IF 60GHz Transceiver in 65nm CMOS with > 3.5Gb/s Links, in Proc. Custom Integrated Circuits Conference. (CICC 2008. 2008).
26. A. Siligans, F. Chaix, M. Pelissier, et al., A low power 60-GHz 2.2-Gbps UWB transceiver with integrated antennas for short range communications, in IEEE Radio Frequency Integrated Circuits Symposium. 2013). P. 297–300.
27. T. Yao, L. Tchoketch-Kebir, O. Yuryevich, et al. 65GHz Doppler Sensor with On-Chip Antenna in 0.18μm SiGe BiCMOS, in Microwave Symposium Digest, 2006. (IEEE MTT-S International. – 2006). P. 1493–1496.
28. M. Ta. Chien, Wicks Byron, Yang Bo, Mo Yuan, et al., Wireless Communications at 60 Ghz: A single-chip Solution on CMOS technology, in Mobile and Wireless Communications: Network layer and circuit level design. 2010). P. 281–303.
29. Toshiya Mitomo, Yukako Tsutsumi, Hiroaki Hoshino, et al., IEEE Journal of solid-state circuits 47 (12), 3160 (2012).
30. Analog Devices, HMC6001LP711E, 60 GHz Rx with integrated antenna, – http://www.analog.com/en/products/rfmicrowave/integrated-transceivers-transmittersreceivers/microwave-mmwave-tx-rx/hmc6001.html.
31. B. G. Putintsev, Nano- and Microsystem Technology, No. 12, 729 (2017).
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Дирочка А. И., Чепурнов Е. Л., Егоров А. В. Фотоэлектроника. Век XXI (Обзор материалов Юбилейной XXV Международной научно-технической конференции и школы по фотоэлектронике и приборам ночного видения) 275
Моисеев А. М., Новиков П. Е. Сигнальные и шумовые характеристики элементов МФПУ формата 640512 SWIR-диапазона 283
ФИЗИЧЕСКОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Гончаров В. Е., Никонов А. В., Батмановская Н. С., Пашкеев Д. А., Кудряшов А. В. Физические пределы контроля электрофизических характеристик квантоворазмерных структур средствами электрохимического вольт-фарадного профилирования 290
Зиенко С. И. Определение происхождения алмазов по спектрам люминесценции 297
Неверов В. А. Особенности микро- и наноразмерных дефектов в кристаллах 4H-карбида кремния, выращенных методом высокотемпературной сублимации 307
Шабловский О. Н., Кроль Д. Г. Форма поверхности роста и предвестники ветвления дендрита в переохлажденном расплаве 316
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Бондаренко М. А., Бондаренко А. В. Формирование изображений в мультиспектральных видеосистемах для визуального и автоматического неразрушающего контроля 325
Гавриш С. В., Логинов В. В., Пучнина С. В. Импульсные газоразрядные источники ИК-излучения для оптико-электронных систем (обзор) 333
Патрашин А. И., Козлов К. В., Ковшов В. С., Никонов А. В., Стрельцов В. А. Метод установки заданной облученности от модели чёрного тела 349
Лисицкий А. П., Ильков В. К., Савельев Ю. Н. Система-на-кристалле со встроенными антеннами V-диапазона на гетероструктурах нитрида галлия 361
ИНФОРМАЦИЯ
Правила для авторов 367
Уточнение от авторов 370
C O N T E N T S
PHOTOELECTRONICS
A. I. Dirochka, E. L. Chepurnov, and A. V. Egorov Photoelectronics. Century XXI (Review of the materials of the Jubilee 25th International Scientific and Technical Conference and schools on photoelectronics and night vision devices) 275
A. M. Moiseev and P. E. Novikov InGaAs 640512 SWIR camera pixels signal and noise characteristics 283
PHYSICAL SCIENCE OF MATERIALS
V. E. Goncharov, A. V. Nikonov, N. S. Batmanovskaya, D. A. Pashkeev, and A. V. Kudryashov Limitations of control of electrophysical characteristics of quantum-size structures by electrochemical capacitance-voltage profiling 290
S. I. Ziyenko Determination of the origin of diamonds from the luminescence spectra 297
V. A. Neverov Features of micro- and nanoscale defects in 4H-polytype silicon carbide crystals grown by high-temperature sublimation 307
O. N. Shablovsky and D. G. Kroll Shape of the growth surface and fore-runners of dendrite branching in undercooled melt 316
PHYSICAL EQUIPMENT AND ITS ELEMENTS
M. A. Bondarenko and A. V. Bondarenko Image forming in multispectral video systems for visual and automatic nondestructive testing 325
S. V. Gavrish, V. V. Loginov, and S. V. Puchnina Pulsed gas-discharge IR radiation sources for optical-electronic systems (a review) 333
A. I. Patrashin, K. V. Kozlov, V. S. Kovshov, A. V. Nikonov, and V. A. Streltsov The BB’s specified irradiation setting method 349
A. P. Lisitskii, V. K. Ilkov, and Yu. N. Saveliev GaN-based V-band system on crystal with integrated antennas 361
INFORMATION
Rules for authors 367
The message from authors 370
Другие статьи выпуска
Рассмотрен метод установки заданной облученности, создаваемой моделью черного тела (МЧТ) в произвольной плоскости. Метод основан на использовании нового параметра – коэффициента излучения МЧТ. Коэффициент излучения МЧТ – это отношение потоков излучения (квантового или энергетического), исходящих соответственно от излучающей площадки и от бесконечно большой излучающей плоскости с той же температурой и степенью черноты, но падающих в заданную точку параллельной плоскости. Данный параметр позволяет просто и корректно определить величину облученности в заданной точке плоскости, отстоящей от МЧТ на заданном расстоянии. МЧТ может иметь излучающую площадку с любой заданной формой, размерами, температурой и степенью черноты. Приведен вывод аналитических выражений коэффициента излучения и облученности, создаваемой МЧТ. Рассмотрены облученности, создаваемые МЧТ с круглыми и квадратными диафрагмами и распределения облученности по площади. Показано, что отличие облученностей от МЧТ с равновеликими круглой и квадратной излучающими площадками близко к одному проценту. На основе предложенного метода расчета облученности предложен метод установки заданной облученности и неоднородности облученности от МЧТ.
В работе последовательно рассмотрены предпосылки создания импульсных цезий–ртуть– ксеноновых ИК-источников с двумя сапфировыми оболочками. При этом теоретически выявлены факторы, определяющие параметры излучения газоразрядной лампы, сформирована математическая модель и выполнен расчет температурных, плазменных и радиационных характеристик разряда, а также выполнен комплекс экспериментальных, конструкторских и технологических исследований. Полученные результаты расчетных и экспериментальных исследований позволили впервые создать новое поколение отечественных импульсных газоразрядных источников ИК-излучения с разрядом смеси паров цезия, ртути и ксенона, ограниченным системой из двух сапфировых оболочек.
Рассматривается задача объединения разноспектральных цифровых изображений, формируемых мультиспектральной видеосистемой для отображения на одном цветном дисплее при условии полного сохранения информации, содержащейся в видеоканалах. Предлагаемый способ комплексирования изображений основан на линейном отображении совокупного спектрального диапазона видеосистемы на видимый человеком диапазон, который кодируется в вычислительной системе линейным цветовым пространством. Указанный подход позволяет добиться высокой реалистичности восприятия получаемых изображений и удобства его визуальной и автоматической интерпретации. Показано, что для полного сохранения информации при комплексировании необходимо, чтобы мерность цветового пространства была не ниже числа видеоканалов. Полученные решения и алгоритмы внедрены в аппаратно-программное обеспечение трёхспектральной видеосистемы RT-700Combo разработки ООО «РАСТР ТЕХНОЛОДЖИ», которая прошла успешные лётные испытания во ФГУП «ГосНИИАС».
Изучен рост свободного дендрита в однокомпонентном переохлажденном расплаве. Учтено, что по мере увеличения переохлаждения усиливается роль локально-неравновесного теплопереноса, повышается степень нестационарности процессов на фазовой границе. Предметом исследования являются морфологические свойства фронта кристаллизации и возникновение боковых ветвей дендрита. Рассмотрен класс поверхностей роста, скорость перемещения которых есть физически содержательная функция локального угла наклона поверхности к оси дендрита. Математическим аналогом такого подхода является задача отыскания формы тел, которые подвергаются аэродинамическому нагреву и уносу массы с обтекаемой поверхности. Изучены два (неособый и особый) автомодельных режима эволюции поверхности роста. В неособом случае по мере заострения вершины сохраняется вид первоначального контура поперечного сечения; например, впадина сужается в направлении роста. Особое автомодельное решение дает в начальном состоянии вершину, которая расщеплена на четыре самостоятельные ветви; в течение конечного промежутка времени наблюдается слияние этих ветвей в одну точку – вершину дендрита. Прикладные аспекты данной работы связаны с методами высокоскоростного затвердевания расплава и получением материалов с улучшенными эксплуатационными свойствами.
В процессе роста монокристаллов карбида кремния формируется развитая система различного рода дефектов, негативно влияющих на свойства полупроводникового материала. В кристаллах 4H-SiC, полученных на оборудовании компании PVA TePla (Германия), обнаружены характерные для микроразмерных дефектов статистически самоподобные поверхности раздела «поры-твердое тело» с фрактальными размерностями 2,20–2,60. Рентгеновское малоугловое рассеяние позволило зафиксировать структурные неоднородности в виде пор и их кластеров наномасштабного уровня. Построены функции распределения частиц по радиусам инерции и показано, что основная доля пор приходится на маломасштабные образования с радиусами инерции 25–30 Å. Поры и их кластеры формируют изогнутые цепочки с фрактальными размерностями 1,26–1,84. Структурные неоднородности масштаба 40–110 Å рассеивают рентгеновское излучение как шероховатые поверхности с фрактальными размерностями 2,31–2,95.
Выполнено комплексное исследование бриллиантов различного происхождения при комнатной температуре. Для натуральных бриллиантов и бриллиантов, облученных потоком электронов, получено уравнение характеристической функции в аналитическом виде, которая монотонно спадает во времени. Синтетические и облагороженные бриллианты имеют характеристические функции, которые могут быть получены только численным методом. Они содержат пульсации, амплитуда которых случайным образом меняется во времени. Форма их заметно отличается от кривых натуральных бриллиантов, что позволяет определить их происхождения.
Проведена разработка методики контроля распределения концентрации носителей заряда по профилю многослойных гетероэпитаксиальных структур (ГЭС) с квантоворазмерной активной областью на основе гетеропары AlGaAs/GaAs, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии, средствами электрохимического вольт-фарадного профилирования (ECV). Разработана расчетная модель области пространственного заряда, формируемой на границе электролит–полупроводник. Проведен анализ ECV-профилей образцов гетеро-эпитаксиальных структур, выращенных на подложках GaAs <100>. Проведен расчет граничных значений глубины формируемой области пространственного заряда для различных концентраций носителей заряда в измеряемых слоях. Сделано заключение об ограниченности метода для контроля распределения концентрации носителей в квантоворазмерной области гетероэпитаксиальных структур.
Проведены сравнительные измерения нескольких однотипных матричных фотоприемных устройств (МФПУ) SWIR-диапазона при различных режимах работы для определения характеристик и их разброса (сигнальные и шумовые характеристики, эквивалентная мощность шума, количество дефектных пикселей) и для выбора режима работы МФПУ в камере. Необходимые для этого данные в описаниях на МФПУ не приводятся. Выявлено хорошее совпадение средних характеристик всех МФПУ и значительный разброс пороговой эквивалентной мощности шума от количества дефектных пикселей для разных МФПУ. Рассмотрены преимущества и недостатки режимов: «низкого» и «высокого усиления», «с фильтром» и «без фильтра», при разной температуре МФПУ (изменяемой током термоэлектрического модуля Пельтье). Выявлено отсутствие зависимости шумовых характеристик от температуры МФПУ, измерены зависимости количества дефектных пикселей и темновых токов от температуры МФПУ. Предложено информативное, но лаконичное представление параметров МФПУ и камер при выборе МФПУ (или камер) для разрабатываемой системы при оценке качества конкретной МФПУ (или камеры) для комплектации изделий.
24–26 мая 2018 года состоялась Юбилейная XXV Международная научно-техническая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения. Приведен краткий обзор представленных докладов.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400