Статья: Анализ параметров атомных и молекулярных пучков в установках молекулярно-лучевой эпитаксии (2020)

Читать онлайн

Представлена реализация конструктивно простого и достаточно универсального метода определения интенсивностей атомных и молекулярных пучков, основанного на регистрации величины малоуглового рассеяния электронов, возникающего при взаимодействии узкого электронного луча с атомами испаряемого вещества.

The main advantage of molecular beam epitaxy (MBE) is the control and management of the parameters of atomic and molecular fluxes, as well as the characteristics of growing layers during growth. This paper describes a structurally simple and fairly universal method for determining the intensities of atomic and molecular beams, based on registering the amount of electron scattering at small angles that occur when a narrow electron beam interacts with the atoms of a vaporized substance. We consider the theoretical prerequisites for the diagnosis of an atomic beam by the phenomenon of scattering of fast electrons in it. It is shown that under certain conditions this method allows determining the concentrations and temperatures of atoms in the flow based on the self-absorption effect, and describes the practical implementation of this method.

Ключевые фразы: молекулярно-лучевая эпитаксия, диагностика, малоугловое рассеяние электронов
Автор (ы): Кульчицкий Николай Александрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.38. Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы, трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц
eLIBRARY ID
44446796
Для цитирования:
КУЛЬЧИЦКИЙ Н. А. АНАЛИЗ ПАРАМЕТРОВ АТОМНЫХ И МОЛЕКУЛЯРНЫХ ПУЧКОВ В УСТАНОВКАХ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2020. №6