Статья: Влияние газовой среды на диффузию термодоноров в кремнии (2020)

Читать онлайн

Показано, что при высокотемпературной термообработке (1150 оС) кремния, выращенного методом бестигельной зонной плавки с низким содержанием кислорода (Fz-Si) наблюдается значительное различие в профилях распределения термодоноров в зависимости от газовой среды в реакторе. Оценка коэффициентов диффузии из профилей распределения термодоноров дает значительно большие значения коэффициента при обработке в кислороде по сравнению с обработкой в аргоне.
Предложено объяснение данного эффекта различием в точечных дефектах, преобладаюших при термообработке: вакансий при обработке в аргоне и межузельных атомов при обработке в кислороде. Вакансии служат эффективными ловушками для термодоноров, которыми являются межузельные атомы примесей, и снижают их наблюдаемый коэффициент диффузии.

It was shown from results thermal treatments at 1100 oC float-zone silicon (FZ-Si), that donor depth profiles are different at different gas ambient: oxygen or argon. The donor diffusivity is significantly smaller at argon oxygen. The probable reason this phenomena is difference in predominant point defect at thermal treatments. There is silicon interstitiales in oxygen ambient and vacancies in argon. Vacancies acts as efficient traps for interstitial impurities (donors). This is probable reason reduction donor diffusivity in argon ambient.

Ключевые фразы: термодоноры, коэффициент диффузии, вакансии, межузельные атомы
Автор (ы): Климанов Евгений Алексеевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621. Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом
eLIBRARY ID
44446795
Для цитирования:
КЛИМАНОВ Е. А. ВЛИЯНИЕ ГАЗОВОЙ СРЕДЫ НА ДИФФУЗИЮ ТЕРМОДОНОРОВ В КРЕМНИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2020. №6
Текстовый фрагмент статьи