Исследование качества гибридизации матричных фотоприемных устройств на установке с автоколлиматором (2024)

Представлены результаты исследований процессов гибридизации кристаллов БИС считывания и МФЧЭ матричных фотоприемных устройств ИК-диапазона, которые проводились на установках с автоколлиматором и без автоколлиматора методом перевернутого кристалла и определена необходимость использования автоколлиматора для различных фотоприемников. На основе проведенных исследований оптимизированы процессы гибридизации. Установлено, что на установке с автоколлиматором надежнее и рациональнее гибридизировать крупноформатные МФЧЭ и БИС счи-тывания формата более 640512, а на установке без автоколлиматора – малогабаритные матричные фотоприемники и многорядные фотоприемные устройства.

Results of researches hybridization of ROIC and Focal Plane Array (FPA) are discussed. Work was performed by flip chip method on hybridization equipment with an autocollimator and without an autocollimator. We investigated of necessity to use an autocollimator for various formats of photodetectors. Based on research the processes of hybridization were opti-mized. We were found that it is more reliable and rational to hybridize large-sized FPA and ROIC of 640512 pixels on equipment with an autocollimator. And small-sized Detector Arrays and multirow photodetectors are better to hybridize on equipment without an autocollimator.

Тип: Статья
Автор (ы): Болтарь Константин
Соавтор (ы): Акимов Владимир Михайлович, Лопухин Алексей Алексеевич

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383. Фотоэлектроника
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2024-2-57-61